本發明專利技術涉及內軸運動裝置，特別涉及一種用于區熔爐的內軸運動裝置，其特征在于，包括：外軸，其里側有內孔；固定導向套，其與外軸內孔固定；軸承座，其位于固定導向套的下端，內裝有調心球軸承；內軸，其穿過固定導向套與軸承座上端連接；滾珠花鍵軸，其與軸承座下端連接；滾珠絲杠軸，其上端與滾珠花鍵軸連接，下端與旋轉同步帶連接；其中，內軸的旋轉由外軸的旋轉驅動。本發明專利技術中當一臺電機帶動外軸旋轉時，內軸隨之旋轉；另一臺電機驅動旋轉同步帶進而帶動滾珠絲杠軸轉動，滾珠絲杠軸將轉動變成直線運動，使滾珠花鍵軸移動，帶動內軸軸向直線移動。本發明專利技術通過增加阻尼以減小震動，提高內軸運動的穩定性，改善內軸和外軸的同心度，更有利于成晶。
【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及內軸運動裝置領域，特別涉及一種用于區熔爐的內軸運動裝置。
技術介紹
區熔單晶爐主要用于生產硅半導體材料，包括晶體熔化生長的主爐室、位于主爐室上端的籽晶提升結構和電控系統。成晶過程主要是通過控制和調整內軸移動和外軸轉動來完成的，由于傳統的區熔爐內軸與外軸同心度不好保證，同心度差，導致內軸在固定導向套內做直線滑動時會產生震動和摩擦阻力，直接影響內軸和外軸相對運動的穩定性，從而影響成晶率。
技術實現思路
本專利技術的目的是改善內軸和外軸的同心度，提高內軸的運動穩定性。為此，本專利技術提出了一種用于區熔爐的內軸運動裝置，其特征在于，包括外軸，其里側有內孔；固定導向套，其與外軸內孔固定；軸承座，其位于固定導向套的下端，內裝有調心球軸承；內軸，其穿過固定導向套與軸承座上端連接；滾珠花鍵軸，其與軸承座下端連接；滾珠絲杠軸,其上端與滾珠花鍵軸連接,下端與旋轉同步帶連接。其中，內軸的旋轉由外軸的旋轉驅動。優選的是，所述的用于區熔爐的內軸運動裝置中，所述固定導向套與外軸內孔利用錐度緊配合固定。優選的是，所述的用于區熔爐的內軸運動裝置中，還包括滑動導向套，其固定在內軸上，并選用聚四氟乙烯和石墨制成。優選的是，所述的用于區熔爐的內軸運動裝置中，還包括支撐套，其上端連接滾珠花鍵軸，下端與固定座連接。優選的是，所述的用于區熔爐的內軸運動裝置中，還包括卡晶裝置，其位于內軸的上端。優選的是，所述的用于區熔爐的內軸運動裝置中，還包括兩個驅動裝置，分別與內軸和外軸連接。優選的是，所述的用于區熔爐的內軸運動裝置中，所述的驅動裝置為兩臺電機。優選的是，所述的用于區熔爐的內軸運動裝置中，所述的一臺電機驅動外面的一根花鍵軸帶動旋轉同步帶，進而帶動外軸旋轉，外軸通過固定導向套帶動內軸旋轉。優選的是，所述的用于區熔爐的內軸運動裝置中，所述的另一臺電機驅動另一根花鍵軸帶動旋轉同步帶，進而帶動滾珠絲杠軸轉動，滾珠絲杠軸將轉動變成直線運動，使滾珠花鍵軸移動，實現內軸的軸向直線移動。本專利技術實施例的運動原理滾珠花鍵軸、軸承座和內軸相對外軸只做直線移動,滾珠絲杠軸相對外軸通過旋轉進行直線移動。軸承座上安裝的調心球軸承保證內軸旋轉時，內軸下方的部件都不旋轉。內軸的旋轉通過外軸的旋轉驅動，外軸被一臺電機驅動旋轉時，外軸通過固定導向套帶動內軸旋轉；內軸的軸向直線運動是另一臺電機驅動旋轉同步帶，同步帶帶動滾珠絲杠軸旋轉，滾珠絲杠軸轉動變成直線運動，使滾珠花鍵軸移動，再帶動內軸實現軸向直線運動，通過兩個電機分別控制和調整內軸的轉動和移動來成晶。本專利技術通過增加阻尼以減小震動,提高內軸運動的穩定性,改善內軸和外軸的同心度,提高內軸運動的控制精度，更有利于成晶。附圖說明圖I為本專利技術所述的用于區熔爐的內軸運動裝置的結構示意圖。具體實施例方式為了更清楚地說明本專利技術實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要的附圖作簡單的介紹。本專利技術提供了一種用于區熔爐的內軸運動裝置，提高了內軸運動的穩定性，改善了內軸和外軸的同心度，提高了內軸運動的控制精度，從而使成晶率得以提高。本專利技術實施例提供的一種用于區熔爐的內軸運動裝置，其特征在于，包括外軸10，其里側有內孔；固定導向套2，其與外軸內孔固定；軸承座4，其位于固定導向套的下端，內裝有調心球軸承；內軸3，其穿過固定導向套與軸承座上端連接；滾珠花鍵軸5，其與軸承座下端連接；滾珠絲杠軸9,其上端與滾珠花鍵軸連接,下端與旋轉同步帶8連接；其中，內軸的旋轉由外軸的旋轉驅動。所述的用于區熔爐的內軸運動裝置中，所述固定導向套與外軸內孔利用錐度緊配合固定。所述的用于區熔爐的內軸運動裝置中，還包括滑動導向套，其固定在內軸上，并選用聚四氟乙烯和石墨制成。所述的用于區熔爐的內軸運動裝置中，還包括支撐套，其上端連接滾珠花鍵軸，下端與固定座連接。所述的用于區熔爐的內軸運動裝置中，還包括卡晶裝置，其位于內軸的上端。所述的用于區熔爐的內軸運動裝置中，還包括兩個驅動裝置，分別與內軸和外軸連接。所述的用于區熔爐的內軸運動裝置中，所述的驅動裝置為兩臺電機。所述的用于區熔爐的內軸運動裝置中，所述的一臺電機驅動外面的一根花鍵軸帶動旋轉同步帶，進而帶動外軸旋轉，外軸通過固定導向套帶動內軸旋轉。所述的用于區熔爐的內軸運動裝置中，所述的另一臺電機驅動另一根花鍵軸帶動旋轉同步帶，進而帶動滾珠絲杠軸轉動，滾珠絲杠軸將轉動變成直線運動，使滾珠花鍵軸移動，實現內軸的軸向直線移動。所述的驅動裝置為晶轉電機和晶升電機，分別實現內軸的轉動和軸向移動。所述的卡晶裝置為籽晶夾，內放置籽晶。本專利技術首先將滑動導向套I固定在內軸上，滑動導向套在外軸內孔只做直線滑動，選用聚四氟乙烯和石墨材料，增加阻尼減小內軸震動，保證了內軸直線運動的直線精度。固定導向套與外軸內孔利用錐度緊配合固定，由于摩擦力的作用既保證了內軸與外軸同心，也避免了外軸產生應力。當內軸穿過固定導向套再與軸承座上端螺紋連接，內軸在固定導向套內做直線滑動，可保證內軸與外軸轉動同步，方向一致。軸承座下端與滾珠花鍵軸螺紋連接，軸承座內裝有調心球軸承，保證內軸旋轉時，內軸下方的部件都不旋轉。滾珠花鍵軸下端與滾珠絲杠軸螺母螺紋連接，起內軸豎直導向的作用，滾珠絲杠軸與絲杠軸螺母消除了間隙，做固定軸向運動。滾珠絲杠軸裝入固定座7內并且與軸承連接，滾珠花鍵軸螺母裝入支撐套6上端并用鍵連接，支撐套下端與固定座螺紋連接。滾珠絲杠軸下端與旋轉同步帶用鍵連接。本專利技術通過一臺電機驅動外軸轉動,外軸內部有固定導向套，內軸穿過固定導向套，所以此時內軸只能和外軸一起旋轉。另一臺電機的驅動使旋轉同步帶帶動滾珠絲杠軸轉動進行直線移動，進而使滾珠花鍵軸移動，再帶動內軸進行軸向直線運動。在此過程中分別調節兩個電機的轉速來控制和調整內軸轉動和移動來成晶。本專利技術采用聚四氟乙烯和石墨制成的滑動導向套增加阻尼以減小震動，提高內軸運動的穩定性，改善內軸和外軸的同心度；同時使用滾珠花鍵軸和滾珠絲杠軸減小摩擦阻力降低震動。軸承座內裝有調心球軸承，保證內軸旋轉時，內軸下方的部件都不旋轉，提高內軸運動的控制精度，更有利于成晶。盡管本專利技術的實施方案已公開如上，但其并不僅僅限于說明書和實施方式中所列運用，它完全可以被適用于各種適合本專利技術的領域，對于熟悉本領域的人員而言，可容易地實現另外的修改，因此在不背離權利要求及等同范圍所限定的一般概念下，本專利技術并不限于特定的細節和這里示出與描述的圖例。權利要求1.一種用于區熔爐的內軸運動裝置，其特征在于，包括外軸，其里側有內孔；固定導向套，其與外軸內孔固定；軸承座，其位于固定導向套的下端，內裝有調心球軸承；內軸，其穿過固定導向套與軸承座上端連接；滾珠花鍵軸，其與軸承座下端連接；滾珠絲杠軸，其上端與滾珠花鍵軸連接，下端與旋轉同步帶連接；其中，內軸的旋轉由外軸的旋轉驅動。2.如權利要求I所述的用于區熔爐的內軸運動裝置，其特征在于，所述固定導向套與外軸內孔利用錐度緊配合固定。3.如權利要求I所述的用于區熔爐的內軸運動裝置，其特征在于，還包括滑動導向套，其固定在內軸上，并選用聚四氟乙烯和石墨制成。4.如權利要求I所述的用于區熔爐的內軸運動裝置，其特征在于，還包括支撐套，其上端連接滾珠花鍵軸，下端與固定座連接。5.如權利要求I所述的用于區熔爐的內軸本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種用于區熔爐的內軸運動裝置，其特征在于，包括：外軸，其里側有內孔；固定導向套，其與外軸內孔固定；軸承座，其位于固定導向套的下端，內裝有調心球軸承；內軸，其穿過固定導向套與軸承座上端連接；滾珠花鍵軸，其與軸承座下端連接；滾珠絲杠軸，其上端與滾珠花鍵軸連接，下端與旋轉同步帶連接；其中，內軸的旋轉由外軸的旋轉驅動。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：周鵬，張繼宏，徐振斌，王軍，
申請(專利權)人：北京京運通科技股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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