【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及一種芯片的失效分析方法，特別涉及。
技術(shù)介紹
開封是在進(jìn)行失效分析時，打開塑封器件的塑封材料進(jìn)行內(nèi)部檢查、分析的常用方法，其原理是使用某些酸去除覆蓋在芯片表面的塑封材料，使芯片裸露出來，從而進(jìn)行后續(xù)的檢測、分析。對于微小元器件，通常進(jìn)行完全開封，即將微小元器件的表面塑封材料全 部腐蝕掉，使得兀器件的內(nèi)部結(jié)構(gòu)完全裸露出來，開封后的兀器件稱之為芯片。開封后的微小芯片通常都需要進(jìn)行清洗，普通芯片通常采用鑷子夾取的方式將芯片轉(zhuǎn)移到燒杯中進(jìn)行清洗，但是對于微小芯片，由于其本身比較脆、容易碎裂，因此在使用鑷子夾取過程中，經(jīng)常會產(chǎn)生損壞，所以，對于微小元器件開封后芯片的轉(zhuǎn)移，不適用鑷子夾取。因此，如何對開封后的微小芯片進(jìn)行安全有效地轉(zhuǎn)移成為失效分析領(lǐng)域需要解決的一個問題。
技術(shù)實現(xiàn)思路
為了解決使用鑷子夾取微小芯片進(jìn)行轉(zhuǎn)移容易損壞芯片的問題，本專利技術(shù)提出以下技術(shù)方案 ，該方法包括以下步驟 A、將開封好的微小芯片置于放有清洗劑的燒杯中進(jìn)行超聲波清洗； B、超聲波清洗完成后，使用吸管吸取清洗劑中的微小芯片，置于載玻片上； C、待微小芯片上的清洗劑揮發(fā)后，即可進(jìn)行金相觀察。作為本專利技術(shù)的一種優(yōu)選方案，所述步驟B中的吸管為塑料材質(zhì)。本專利技術(shù)帶來的有益效果是本專利技術(shù)方法使用吸管將芯片連同清洗劑進(jìn)行吸取，通過液體的張力將芯片固定在吸管中，通過該方法可以將微小芯片安全、完整地轉(zhuǎn)移到其他地方，有效提高了元器件開封、金相分析的準(zhǔn)確性和可靠性。具體實施例方式下面對本專利技術(shù)的較佳實施例進(jìn)行詳細(xì)闡述，以使本專利技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)和特征能更易于被本領(lǐng)域技術(shù)人員理解，從而對本...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種開封后微小芯片的轉(zhuǎn)移方法，其特征在于：該方法包括以下步驟：A、將開封好的微小芯片置于放有清洗劑的燒杯中進(jìn)行超聲波清洗；B、超聲波清洗完成后，使用吸管吸取清洗劑中的微小芯片，置于載玻片上；C、待微小芯片上的清洗劑揮發(fā)后，即可進(jìn)行金相觀察。
【技術(shù)特征摘要】
1.一種開封后微小芯片的轉(zhuǎn)移方法，其特征在于該方法包括以下步驟 A、將開封好的微小芯片置于放有清洗劑的燒杯中進(jìn)行超聲波清洗； B、超聲波清洗完成后，使用吸管吸取清洗劑中...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：李鋒，
申請(專利權(quán))人：蘇州華碧微科檢測技術(shù)有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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