一種能實現雙向流動的超聲流微泵制造技術

本發明專利技術涉及一種能實現雙向流動的超聲流微泵，它由多個聲流微泵單元串接而成，每個聲流微泵單元的流體腔包括入口腔、出口腔、聲流腔和回流腔四部分形成H形腔體結構，其中入口腔、回流腔在水平方向相接，相接處垂直連接聲流腔，聲流腔頂端垂直連接出口腔，每個聲流微泵單元的聲流腔正對一個壓電片，壓電片置于正對聲流腔的管道底側位置，壓電片連接壓電驅動器，多個聲流微泵單元的流體腔相連通。本發明專利技術微泵不需要壓力腔，無活動部件，可靠性高；易于制造；對懸浮粒子損傷小；工作電壓低；發熱低；對所傳輸的液體/氣體類型沒有限制，可用于傳輸包含DNA及其它生物試樣的液體等。

【技術實現步驟摘要】

【技術保護點】
一種能實現雙向流動的超聲流微泵，其特征是，它由多個聲流微泵單元串接而成，每個聲流微泵單元的流體腔包括入口腔、出口腔、聲流腔和回流腔四部分形成H形腔體結構，其中入口腔、回流腔在水平方向相接，相接處垂直連接聲流腔，聲流腔頂端垂直連接出口腔，每個聲流微泵單元的聲流腔正對一個壓電片，壓電片置于正對聲流腔的管道底側位置，壓電片連接壓電驅動器，多個聲流微泵單元的流體腔相連通。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：魏守水，魏長智，
申請(專利權)人：山東大學，
類型：發明
國別省市：