本發(fā)明專利技術(shù)提供一種光拾波器裝置所搭載的透鏡，其具備由光吸收造成的透射率的降低小且波長(zhǎng)405nm附近、波長(zhǎng)660nm附近、波長(zhǎng)785nm附近這三個(gè)波長(zhǎng)的透射率滿足97％的防反射膜。并且，具備在波長(zhǎng)380～410nm、波長(zhǎng)640～670nm、波長(zhǎng)770～800nm三個(gè)波長(zhǎng)區(qū)域下使用的防反射膜的光拾波器裝置所搭載的透鏡，其防反射膜由兩層以上的高折射率材料層和低折射率材料層的多層的膜所構(gòu)成，光吸收率高的所述高折射率材料層，被低折射率材料層、空氣、透鏡的任意一個(gè)夾隔，使所述高折射率材料層的合計(jì)膜厚為50nm以下，使波長(zhǎng)410nm以下的光的吸收率為1％以下。
【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及光拾波器裝置所搭載的透鏡，涉及配備有在三個(gè)波長(zhǎng)區(qū)域具有適當(dāng)?shù)?透射率的防反射膜的光拾波器裝置所搭載的透鏡。
技術(shù)介紹
在光拾波器用的準(zhǔn)直透鏡和物鏡等一般的透鏡中，為了提高透射率和耐光性而附 著防反射膜。在3種波長(zhǎng)用的防反射膜等、使390 430nm的波長(zhǎng)的光束和630 800nm 的波長(zhǎng)的光束的反射得以防止的防反射膜中，提出有反射率極小值在上述390 430nm和 630 SOOnm附近這兩處具有極小值的防反射膜。另外近年來，也公開有在雙層構(gòu)造的防反 射膜中、在390 430nm和630 800nm這兩處能夠具有極小值的情形，雙層的這種防反射 膜具有制造上有利等優(yōu)點(diǎn)。但是，這樣的防反射膜，各層的膜變厚。在專利文獻(xiàn)I中，在表I至表3中，介紹了 幾個(gè)在光拾波器透鏡所常用的使用了 Ta2O5和SiO2的防反射膜的例子。使用了 Ta2O5和SiO2 的防反射膜，多是從耐光性的觀點(diǎn)出發(fā)而被常用的光學(xué)材料。若調(diào)查專利文獻(xiàn)I的防反射膜Ta2O5膜的合計(jì)的厚度，則在專利文獻(xiàn)I的實(shí)施例1中為121. 34nm，在實(shí)施例3中為149. 36nm，在實(shí)施例4中為139. 6nm，在實(shí)施例6中為 127. 36nm，在實(shí)施例7中為154. 25nm，在實(shí)施例8中為146. 56nm，在實(shí)施例14中為152. 66 和131. 13nm，為IOOnm以上。另外，因?yàn)橥哥R的面為兩面，所以若將這些防反射膜附著在兩 面，則Ta2O5膜的合計(jì)的厚度為200nm以上。可是，根據(jù)防反射膜的材料，已知存在因材料造成的光吸收。在圖13中示出作為 實(shí)驗(yàn)條件I的防反射膜的膜厚。容易發(fā)生光吸收的高折射率材料的Ta2O5膜的膜厚，在Rl 面為 129. 68nm，在 R2 面為 157. 14nm。圖14中示出實(shí)驗(yàn)條件I的透射率，圖15中示出實(shí)驗(yàn)條件I的Rl面?zhèn)鹊姆瓷渎剩?圖16中示出實(shí)驗(yàn)條件I的R2面?zhèn)鹊姆瓷渎省Ｗx取了圖14至圖16的刻度的值在圖17中示 出。根據(jù)圖17，波長(zhǎng)405nm的防反射膜的透射率其設(shè)計(jì)值為98. 38%、其實(shí)測(cè)值為91. 92%， 波長(zhǎng)660nm的透射率其設(shè)計(jì)值為97. 61 %、其實(shí)測(cè)值為97. 84%，波長(zhǎng)780nm的透射率其設(shè) 計(jì)值為98. 15%、其實(shí)測(cè)值為97.90%。波長(zhǎng)660nm和波長(zhǎng)780nm下，透射率的設(shè)計(jì)值與實(shí) 測(cè)值的差在O. 3 %以內(nèi)，如設(shè)計(jì)這樣的透射率的值出現(xiàn)，但在波長(zhǎng)405nm下，設(shè)計(jì)值與實(shí)測(cè) 值的差為6.46%。在此，透射率與Rl面?zhèn)鹊姆瓷渎屎蚏2面?zhèn)鹊姆瓷渎氏嗉討?yīng)該為100%。若試著看 波長(zhǎng)405nm下的反射率，則Rl面?zhèn)鹊姆瓷渎实膶?shí)測(cè)值為1. 96%,R2面?zhèn)鹊姆瓷渎实膶?shí)測(cè)值 為3. 46%。若將其合計(jì)則為97. 33%，有2. 67%的不清楚的量。這被認(rèn)為是由于防反射膜 材料的光吸收造成的透射率的降低。接著，在圖18作為實(shí)驗(yàn)條件2示出反射率的膜厚。容易發(fā)生光吸收的高折射率材 料的Ta2O5膜的膜厚，在Rl面為150nm，在R2面為50nm。圖19中示出實(shí)驗(yàn)條件2的透射率，圖20中示出實(shí)驗(yàn)條件2的Rl面?zhèn)鹊姆瓷渎剩瑘D21中示出實(shí)驗(yàn)條件2的R2面?zhèn)鹊姆瓷渎省Ｗx取了圖19至圖21的刻度的值在圖22中示出。 根據(jù)圖22，波長(zhǎng)405nm下透射率其設(shè)計(jì)值為98. 92 %、其實(shí)測(cè)值為98. 26 %，波長(zhǎng)660nm下透射率其設(shè)計(jì)值為98. 80%、其實(shí)測(cè)值為98. 09%，波長(zhǎng)780nm下透射率其設(shè)計(jì)值為97. 44%, 其實(shí)測(cè)值為96. 43%。在圖22中，波長(zhǎng)405nm、波長(zhǎng)660nm、波長(zhǎng)780nm的波長(zhǎng)的防反射膜材料的光吸收造成的透射率的降低量(吸收率)分別為O. 85%,O. 30%,O. 53，波長(zhǎng)405nm、波長(zhǎng)660nm、波長(zhǎng)780nm的全部的波長(zhǎng)下，透射率的設(shè)計(jì)值和實(shí)測(cè)值的差在1. O %以內(nèi)，能夠得到大致如設(shè)計(jì)那樣的透射率。根據(jù)以上的結(jié)果，在高折射率材料的膜厚為厚的透鏡中，短波長(zhǎng)的405nm下發(fā)生光的吸收。此外將上述實(shí)驗(yàn)條件I和實(shí)驗(yàn)條件2的結(jié)果匯總示出在圖23中。因?yàn)檎J(rèn)為吸收量與膜的厚度成比例，所以由上述實(shí)驗(yàn)I和2可知如下關(guān)系成立吸收率(％ ) = O. 0098X高折射率材料膜厚(nm)(式I)先行技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I特開2005-38581號(hào)公報(bào)在上述現(xiàn)有技術(shù)的防反射膜中，Ta2O5膜的合計(jì)的厚度在單面為IOOnm以上。另外，因?yàn)橥哥R其面有兩面，所以若將這些防反射膜附著在兩面，則Ta2O5膜的合計(jì)的厚度為 200nm以上，不能獲得3種波長(zhǎng)下的透射率適當(dāng)?shù)墓馐安ㄆ餮b置所搭載的透鏡。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本專利技術(shù)其目的在于，提供一種光拾波器裝置所搭載的透鏡，其具備由光吸收造成的透射率的降低小至1%且波長(zhǎng)405nm附近、波長(zhǎng)660nm附近、波長(zhǎng)785nm附近這三個(gè)波長(zhǎng)的透射率在單面下滿足97%的防反射膜。為了解決上述課題，本專利技術(shù)的光拾波器裝置所搭載的透鏡，是具備在三個(gè)波長(zhǎng)區(qū)域下使用的防反射膜的光拾波器裝置所搭載的透鏡，其特征在于，所述防反射膜由兩層以上的高折射率材料層和低折射率材料層的多層的膜所構(gòu)成，且所述高折射率材料層的合計(jì)膜厚為50nm以下，并且在波長(zhǎng)410nm以下的光的吸收率為1%以下。還有，若由高折射率材料層只有一層所構(gòu)成的防反射膜，想要得到97%以上的透射率，則高折射率材料的膜厚為IOOnm以上。本專利技術(shù)的光拾波器裝置所搭載的透鏡，是具備在波長(zhǎng)380 410nm、波長(zhǎng)640 670nm、波長(zhǎng)770 SOOnm三個(gè)波長(zhǎng)區(qū)域下使用的防反射膜的光拾波器裝置所搭載的透鏡， 其特征在于，所述防反射膜由兩層以上的高折射率材料層和低折射率材料層的多層的膜所構(gòu)成；光吸收率高的所述高折射率材料層，被所述低折射率材料層、空氣、透鏡的任意一個(gè)夾隔，且所述高折射率材料層的合計(jì)膜厚為50nm以下，所述防反射膜在波長(zhǎng)380 410nm、 波長(zhǎng)640 670nm、波長(zhǎng)770 800nm各個(gè)波長(zhǎng)區(qū)域上光吸收率為1%以下。另外，本專利技術(shù)的光拾波器裝置所搭載的透鏡，其特征在于，所述防反射膜由所述高折射率材料層和所述低折射率材料層的五層以上的膜所構(gòu)成。另外，本專利技術(shù)的光拾波器裝置所搭載的透鏡，其特征在于，所述防反射膜由低折射率材料的SiO的低折射率材料層、低折射率材料的SiO2的低折射率材料層、高折射率材料的Ta2O5的高折射率材料層這三種層所形成。另外，本專利技術(shù)的光拾波器裝置所搭載的透鏡，優(yōu)選所述防反射膜的透射率在波長(zhǎng) 405nm、660nm、波長(zhǎng)785nm這三個(gè)波長(zhǎng)下，分別在兩面為97%以上。另外，本專利技術(shù)的光拾波器裝置所搭載的透鏡，優(yōu)選所述防反射膜的透射率在波長(zhǎng) 405nm、660nm、波長(zhǎng)785nm這三個(gè)波長(zhǎng)下，分別在兩面為96%以上。另外，本專利技術(shù)的光拾波器裝置所搭載的透鏡，其特征在于，是準(zhǔn)直透鏡或耦合透鏡。在防反射膜中，一般來說，在透鏡的第一面和透鏡的第二面這兩面附著防反射膜， 在兩面的膜厚下為200nm。在這樣的防反射膜中，由材料造成的光的吸收大，在實(shí)際的透鏡 中不能獲得設(shè)計(jì)上所得到的透射率。因此在本專利技術(shù)的防反射膜中，其設(shè)計(jì)方式為，使兩層以上的高折射率材料層的合 計(jì)膜厚為50nm以下。若高折射率材料由一層構(gòu)成，膜厚為50nm以下，則不能使波長(zhǎng)405nm附近、波長(zhǎng) 660nm附近、波長(zhǎng)78本文檔來自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種光拾波器裝置所搭載的透鏡，其具備在三個(gè)波長(zhǎng)區(qū)域下使用的、且在入射面和出射面分別設(shè)置的防反射膜，其特征在于，所述防反射膜由兩層以上的高折射率材料層和低折射率材料層的多層的膜所構(gòu)成，且所述高折射率材料層的合計(jì)膜厚分別為50nm以下，并且所述防反射膜在波長(zhǎng)410nm以下的光的吸收率為1％以下。
【技術(shù)特征摘要】
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【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：水口麻美，清水孝行，杉靖幸，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：日立麥克賽爾株式會(huì)社，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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