一種光學薄膜0-70°入射的寬光譜透射率測量方法及裝置制造方法及圖紙

本發明專利技術涉及一種光學薄膜0-70°入射的寬光譜透射率測量方法及裝置，其方法具體包括以下步驟：1)測量基板在入射角為0°時的透射率T0°；2)根據1)中測得的透射率T0°計算基板在入射角為α時的S光和P光透射率的理論值和；3)測量基板在入射角為α時的S光和P光透射率的測量值和；4)計算偏振特性因子p；5)用測試樣品替換基板，分別測量測試樣品在入射角為α時的S光和P光透射率的測量值和；6)計算測試樣品S光和P光的透射率TS和TP。與現有技術相比，本發明專利技術在理論上消除偏振因素對測量結果的影響，提高了測量精度，而且測量中通過旋轉測試樣品的入射面來實現在S光和P光之間的切換，降低了對偏振器的精度要求，從而降低了測量成本。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及一種射率測量方法及裝置，尤其是涉及一種光學薄膜0-70°入射的寬光譜透射率測量方法及裝置。
技術介紹
傳統測量方法在測量在0-70°傾斜入射的寬光譜透射率時，需要依靠起偏器來切換P光(光矢量平行于入射面)和S光(光矢量垂直于入射面)，并要求起偏器為理想起偏器，這一要求是非常苛刻的。但是測試中所用起偏器都是部分起偏器，因此透射率的測量精度隨著入射角的增加迅速增大。起偏器的消光比隨波長而變化，且通常其工作波段較窄，無法滿足寬光譜的透射率測量要求。采用多個高性能的工作在不同波段的起偏器的組合來測量寬光譜透射率的成本又非常高。
技術實現思路
本專利技術的目的就是為了克服上述現有技術存在的缺陷而提供一種光學薄膜 0-70°入射的寬光譜透射率測量方法及裝置，該測量方法及裝置成本低、測量步驟簡單而且測量精度高。本專利技術的目的可以通過以下技術方案來實現一種光學薄膜0-70°入射的寬光譜透射率測量方法，其特征在于，包括以下步驟I)測量基板在入射角為0°時的透射率Tcr ；2)根據I)中測得的透射率Tcr計算基板在入射角為α時的S光和P光透射率的理論值τα%和；3)測量基板在入射角為α時的S光和P光透射率的測量值T^s和;4)計算偏振特性因子P，計算公式為

【技術保護點】
一種光學薄膜0?70°入射的寬光譜透射率測量方法，其特征在于，包括以下步驟：1)測量基板在入射角為0°時的透射率T0°；2)根據1)中測得的透射率T0°計算基板在入射角為α時的S光和P光透射率的理論值和3)測量基板在入射角為α時的S光和P光透射率的測量值和4)計算偏振特性因子p，計算公式為：p=Tα,Sm-Tα,SmTα,Sc-Tα,Pc.5)用測試樣品替換基板，分別測量測試樣品在入射角為α時的S光和P光透射率的測量值和6)計算測試樣品S光和P光的透射率TS和TP，計算公式為：TS=12[(TSm+TPm)+1p(TSm-TPm)]TP=12[(TSm+TPm)-1p(TSm-TPm)].FDA0000094398220000011.tif,FDA0000094398220000012.tif,FDA0000094398220000013.tif,FDA0000094398220000014.tif,FDA0000094398220000016.tif,FDA0000094398220000017.tif

【技術特征摘要】
1.一種光學薄膜0-70°入射的寬光譜透射率測量方法，其特征在于，包括以下步驟 1)測量基板在入射角為o°時的透射率V; 2)根據I)中測得的透射率V計算基板在入射角為α時的S光和P光透射率的理論值Ta，s和 Τα,ρ ; 3)測量基板在入射角為α時的S光和P光透射率的測量值; 4)計算偏振特性因子P，計算公式為2.根據權利要求1所述的一種光學薄膜0-70°入射的寬光譜透射率測量方法，其特征在于，所述的步驟I)具體包括以下步驟 11)調整起偏器，使光線沿X軸方向偏振，通過探測器測量入射光的光強I0； 12)在光路中設置并調整基板，使基板上的光線入射角為0°，測量經過基板的光強1(1。； 13)計算基板透射率Icr，計算公式為3.根據權利要求1所述的一種光學薄膜0-70°入射的寬光譜透射率測量方法，其特征在于，所述的步驟3)具體包括以下步驟 31)調整基板，使光線的入射面垂直偏振方向，測量S光的光強s，并根據公式Ta,S = 計算透射率Τ。； 32)以光路方向為軸,旋轉基板,使光線的入射面平行偏振方向，測...

【專利技術屬性】
技術研發人員：劉永利，張錦龍，程鑫彬，馬彬，焦宏飛，丁濤，韓金，張艷云，王玲，王占山，
申請(專利權)人：同濟大學，
類型：發明
國別省市：