【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及一種透視檢測(cè)機(jī)，尤其涉及一種探針修正裝置。
技術(shù)介紹
半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)，包括晶圓測(cè)試和成品測(cè)試；其中，晶圓測(cè)試是通過(guò)探針臺(tái)上的探針和晶圓PAD點(diǎn)去接觸，以進(jìn)行測(cè)試。現(xiàn)有探針臺(tái)上的探針比較細(xì)，易發(fā)生偏移，從而使得探針不能夠與晶圓的PAD—一對(duì)應(yīng)起來(lái)，此時(shí)，需要對(duì)探針進(jìn)行修復(fù)；目前，用于修復(fù)探針偏移的裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜，操作繁瑣，且效率低下。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本專利技術(shù)的目的在于針對(duì)上述問(wèn)題，提供一種探針修正裝置，以解決現(xiàn)有用于修復(fù)探針偏移的裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜，操作繁瑣，且效率低下的問(wèn)題。本專利技術(shù)的目的是通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)一種探針修正裝置，包括探針修復(fù)工具，所述探針修復(fù)工具的頭部設(shè)置有與探針相配合的卡鉤，且其下端可前后移動(dòng)的設(shè)置在旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上，所述旋轉(zhuǎn)平臺(tái)可左右移動(dòng)的設(shè)置在水平板上，所述水平板可上下移動(dòng)的設(shè)置在垂直板上。進(jìn)一步的，所述探針修復(fù)工具的下端連接有絲母，所述絲母與設(shè)置在旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上的絲桿相配合。進(jìn)一步的，所述旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的下端連接有水平絲母，所述水平絲母與橫向設(shè)置在水平板上的水平絲桿相配合。進(jìn)一步的，所述旋轉(zhuǎn)平臺(tái)包括底板和轉(zhuǎn)臺(tái)，所述底板上設(shè)置有減速電機(jī)，所述減速電機(jī)的輸出軸與轉(zhuǎn)臺(tái)固定連接。進(jìn)一步的，所述水平板的一端縱向開(kāi)有貫通的螺紋孔，所述螺紋孔與縱向設(shè)置在垂直板上的螺桿相配合。本專利技術(shù)的有益效果為，所述探針修正裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于實(shí)現(xiàn)，其可通過(guò)探針?biāo)栊拚较蚨M(jìn)行上下、左右、前后的移動(dòng)，并可根據(jù)需要修正的方向進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，操作方便，簡(jiǎn)單，修正效率高。附圖說(shuō)明圖1為本專利技術(shù)一種探針修正裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1、探針修復(fù)工具；2、旋轉(zhuǎn)平臺(tái)；3、水平絲桿；4、...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種探針修正裝置，其特征在于：包括探針修復(fù)工具，所述探針修復(fù)工具的頭部設(shè)置有與探針相配合的卡鉤，且其下端可前后移動(dòng)的設(shè)置在旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上，所述旋轉(zhuǎn)平臺(tái)可左右移動(dòng)的設(shè)置在水平板上，所述水平板可上下移動(dòng)的設(shè)置在垂直板上。
【技術(shù)特征摘要】
1.一種探針修正裝置，其特征在于包括探針修復(fù)工具，所述探針修復(fù)工具的頭部設(shè)置有與探針相配合的卡鉤，且其下端可前后移動(dòng)的設(shè)置在旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上，所述旋轉(zhuǎn)平臺(tái)可左右移動(dòng)的設(shè)置在水平板上，所述水平板可上下移動(dòng)的設(shè)置在垂直板上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種探針修正裝置，其特征在于所述探針修復(fù)工具的下端連接有絲母，所述絲母與設(shè)置在旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上的絲桿相配合。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種探針修正裝置...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：虞君新，劉波，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：無(wú)錫圓方半導(dǎo)體測(cè)試有限公司，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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