廢氣處理系統技術方案

本實用新型專利技術涉及一種廢氣處理系統，所述廢氣處理系統包括:二蓄熱床，其內部含有一熱交換介質；一去除揮發性有機物觸媒床，其設置在所述蓄熱床上方；一選擇性還原觸媒床，其設置在所述去除揮發性有機物觸媒床上方；一燃燒室，其連通所述選擇性還原觸媒床；一燃燒器，其設置在所述燃燒室上方；一還原氣體輸入管線，其設置在所述蓄熱床下方。本實用新型專利技術通過整合蓄熱式觸媒焚化法及選擇性觸媒還原法，可同時去除廢氣中的揮發性有機物與氮氧化物，以提高處理效率及降低維護與操作的成本。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

廢氣處理系統
本技術與廢氣處理系統有關，特別有關于一種整合蓄熱式觸媒焚化法及選擇 性觸媒還原法的廢氣處理系統。
技術介紹
半導體及光電產業制程多見含有氮化合物，如NMP、DMF、TMAH、MEA等，這些含氮 物質隨著其它揮發性有機物(volatile organic compounds, VOCs),—起經由污染防制廢 氣處理后排放，而高科技產業對于揮發性有機物管末處理，現行以沸石轉輪搭配焚化處理 為具有效益的方式。不過最終以焚化方式處理含氮揮發性有機物時，將面臨燃燒尾氣排放氮氧化物 (nitrogen oxides, NOx)的問題,雖然高科技產業所排放的NOx濃度目前仍符合法規標 準，但為改善整個區域的空氣質量，在未來控制此類NOx將有所必要。廢氣中揮發性有機物的控制技術，目前采用蓄熱式焚化爐(RTO)或蓄熱式觸媒焚 化爐(RCO)，對揮發性有機物進行燃燒。蓄熱式焚化爐及蓄熱式觸媒焚化爐主要是在燃燒室 下方設置蓄熱床，蓄熱床內部裝置有熱交換介質，例如蓄熱陶瓷，并在燃燒室上方設置燃燒 器，用于燃燒揮發性有機物，而蓄熱床內部的蓄熱陶瓷則是用于回收焚化后的高溫熱能，并 用于預熱進入燃燒室的廢氣溫度。廢氣中氮氧化物的控制，目前以選擇性觸媒還原法(SCR)較有效率。選擇性觸媒 還原法為輸入還原氣體，例如氨氣與氮氧化物反應，還原成無害的氮氣與水。然而，利用個別的處理裝置去除VOCs與NOx是昂貴且無效率的。例如，當NOx與 還原氣體反應時，流至觸媒還原裝置的氣體需再次加熱。兩個個別處理裝置的維護與操作 亦是昂貴且工作繁重的。
技術實現思路
有鑒于此，本技術的目的在于提供一種廢氣處理系統，其整合蓄熱式觸媒焚 化法及選擇性觸媒還原法，可同時去除廢氣中的揮發性有機物與氮氧化物。為了達成上述目的，本技術提供一種廢氣處理系統，所述廢氣處理系統將一 蓄熱式觸媒焚化爐與一選擇性觸媒還原器整合在一殼體中，且所述廢氣處理系統包括二蓄熱床，其內部含有一熱交換介質；一去除揮發性有機物觸媒床，其設置在所述蓄熱床上方；一選擇性還原觸媒床，其設置在所述去除揮發性有機物觸媒床上方；一燃燒室，其連通所述選擇性還原觸媒床；一燃燒器，其設置在所述燃燒室上方；以及一還原氣體輸入管線，其設置在所述蓄熱床下方。作為優選方案，其中所述熱交換介質為蜂窩型、馬鞍型或球型蓄熱陶瓷。作為優選方案，其中所述還原氣體輸入管線為氨氣輸入管線。作為優選方案，其中所述廢氣處理系統更包括用于供制程廢氣進入所述廢氣處理系統的一制程廢氣管道。作為優選方案，其中所述廢氣處理系統更包括用于供流出所述燃燒室的凈化后的氣體排出的一凈化排氣管道。作為優選方案，其中所述廢氣處理系統更包括用于供制程廢氣進入所述廢氣處理系統的一制程廢氣旁路管道。與已知的廢氣處理系統相比，本技術的廢氣處理系統將蓄熱式觸媒焚化爐 (RCO)與選擇性觸媒還原器(SCR)整合在單一殼體中，可提高處理效率及降低維護與操作的成本。附圖說明圖1為本技術的一實施例的廢氣處理系統剖視圖；圖2為本技術的廢氣處理系統的第一操作循環示意圖；圖3為本技術的廢氣處理系統的第二操作循環示意圖；圖4為本技術的另一實施例的廢氣處理系統剖視圖。主要元件符號說明10-廢氣處理系統；12_殼體；14_畜熱床；16_畜熱床；17_畜熱床；18_去除撣發性有機物觸媒床；20-去除揮發性有機物觸媒床；21_去除揮發性有機物觸媒床；22_選擇性還原觸媒床；24_選擇性還原觸媒床；25_選擇性還原觸媒床；26_燃燒室；28_燃燒器；29_燃燒器；30-制程廢氣管道；32_入口管道；34_入口管道；35_入口管道；36_出口管道； 38-出口管道；39_出口管道；40-制程廢氣旁路管道；42_入口管道；44_入口管道；45_入口管道；50-凈化排氣管道；52-鼓風機；54-閥;56_閥;58_閥;59_閥；60-閥；61-閥；62-閥;64_ 閥；65~ 閥；70-還原氣體輸入管線；72_還原氣體輸入管線；73_還原氣體輸入管線。具體實施方式有關本技術的詳細說明及
技術實現思路
，將配合附圖說明如下，然而附圖僅提供參考與說明之用，并非用于限制本技術。請參照圖1，圖1為本技術的一實施例的廢氣處理系統剖視圖。本技術的廢氣處理系統10將蓄熱式觸媒焚化爐(RCO)與選擇性觸媒還原器(SCR)整合在單一殼體 12中。本實施例的廢氣處理系統10包括蓄熱床14及蓄熱床16，內部含有熱交換介質，例如蜂窩型、馬鞍型或球型蓄熱陶瓷；去除揮發性有機物觸媒床18及去除揮發性有機物觸媒床20，分別設置在蓄熱床14及蓄熱床16上方，去除揮發性有機物觸媒，例如將鉬沈積在擔體上形成；選擇性還原觸媒床22及選擇性還原觸媒床24，分別設置在去除揮發性有機物觸媒床18及去除揮發性有機物觸媒床20上方，選擇性還原觸媒，例如將鈦及/或釩沈積在擔體上形成；燃燒室26，連通選擇性還原觸媒床22及選擇性還原觸媒床24 ;燃燒器28，， 設置在燃燒室26上方，并提供熱至燃燒室26 ;及還原氣體輸入管線70及還原氣體輸入管線72， 分別設置在蓄熱床14及蓄熱床16下方，用于輸入還原氣體例如氨氣。如圖1所示，本實施例的去除揮發性有機物觸媒床18直接連通蓄熱床14，但是也 可以在外殼12中分開設置。而且，如圖1所示，選擇性還原觸媒床22直接設置連通去除揮 發性有機物觸媒床18，但是也可以在外殼12中分開設置。同理，如圖1所示，本實施例的去除揮發性有機物觸媒床20直接連通蓄熱床16，但 是也可以在外殼12中分開設置。而且，如圖1所示，選擇性還原觸媒床24直接設置連通去 除揮發性有機物觸媒床20，但是也可以在外殼12中分開設置。—制程廢氣管道30允許含有揮發性有機物及氮氧化物的制程廢氣，通過入口管 道32及入口管道34進入本實施例的廢氣處理系統10。凈化空氣系統通過出口管道36及 出口管道38導出廢氣處理系統10，接著經由凈化排氣管道50連接至鼓風機52排至大氣 中。在本實施例中，含有揮發性有機物及氮氧化物的制程廢氣亦可通過制程廢氣旁路管道 40通過入口管道42及入口管道44進入本實施例的廢氣處理系統10。本實施例的廢氣處 理系統10使用閥54、閥56、閥58、閥60、閥62及閥64以控制制程廢氣進入廢氣處理系統 10與凈化空氣自廢氣處理系統10排出。還原氣體輸入管線70及還原氣體輸入管線72分別設置在蓄熱床14及蓄熱床16 下方，輸入還原氣體例如氨氣，當來自制程廢氣管道30的制程廢氣中的氮氧化物與氨氣通 過留有空隙供氣體流動的蓄熱床14及蓄熱床16與去除揮發性有機物觸媒床18及去除揮 發性有機物觸媒床20可均勻混合，接著氮氧化物與氨氣流經選擇性還原觸媒床22及選擇 性還原觸媒床24，在選擇性還原觸媒上反應成無害的氮氣與水。在本實施例中，還原氣體輸入管線70及還原氣體輸入管線72分別設置在蓄熱床 14及蓄熱床16下方，用于輸入還原氣體例如氨氣，當來自制程廢氣管道30的制程廢氣中的 氮氧化物與氨氣通過蓄熱床14及蓄熱床16與去除揮發性有機物觸媒床18及去除揮發性 有機物觸媒床20即可均勻混合，如此無需增加殼體12高度以提供氣體混合的空間，方便維 修人員進行維本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種廢氣處理系統，其特征在于，所述廢氣處理系統將一蓄熱式觸媒焚化爐與一選擇性觸媒還原器整合在一殼體中，且所述廢氣處理系統包括:?二蓄熱床，其內部含有一熱交換介質；一去除揮發性有機物觸媒床，其設置在所述蓄熱床上方；一選擇性還原觸媒床，其設置在所述去除揮發性有機物觸媒床上方；一燃燒室，其連通所述選擇性還原觸媒床；一燃燒器，其設置在所述燃燒室上方；以及一還原氣體輸入管線，其設置在所述蓄熱床下方。

【技術特征摘要】
1.一種廢氣處理系統，其特征在于，所述廢氣處理系統將一蓄熱式觸媒焚化爐與一選擇性觸媒還原器整合在一殼體中，且所述廢氣處理系統包括 二蓄熱床，其內部含有一熱交換介質； 一去除揮發性有機物觸媒床，其設置在所述蓄熱床上方； 一選擇性還原觸媒床，其設置在所述去除揮發性有機物觸媒床上方； 一燃燒室，其連通所述選擇性還原觸媒床； 一燃燒器，其設置在所述燃燒室上方；以及 一還原氣體輸入管線，其設置在所述蓄熱床下方。2.如權利要求1所述的廢氣處理系統，其特征在于，所述熱交換介質為蜂窩...

【專利技術屬性】
技術研發人員：莊錦烽，蔡慶生，
申請(專利權)人：力技科技工程股份有限公司，
類型：實用新型
國別省市：