薄層電阻等值線圖的測試裝置制造方法及圖紙

本發明專利技術公開一種薄層電阻等值線圖的測試裝置，所述測試裝置包括：多個探頭，所述探頭用于測試待測樣品的薄層電阻等值線圖；傳動裝置，所述傳動裝置包括托架、可旋轉地設置在所述托架上的傳動齒輪和設置在所述傳動齒輪的下表面的多個連接裝置，所述連接裝置將所述探頭可拆卸地安裝在所述傳動齒輪的下表面；以及傳動驅動裝置，所述傳動驅動裝置驅動所述傳動齒輪轉動，以將合適的探頭轉動到測試位置。根據本發明專利技術的測試裝置不但提高了測試效率，而且還可以避免更換探頭時對探頭的污染和損壞，保證測試結果的準確性。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及半導體領域，尤其涉及一種薄層電阻等值線圖的測試裝置。
技術介紹
在半導體制造領域中，通過使用薄層電阻等值線圖的測試裝置來測試晶片表面上待測介質的電阻率。依據待測介質的電阻率的不同，還需要使用不同的探頭進行測試。以美國PiOmetrix公司制造的RS35型薄層電阻等值線圖測試裝置為例，探頭包括A型探頭、B型探頭、C型探頭和D型探頭，其中A型探頭主要同于測量電阻率較小的金屬介質，其它類型的探頭會依據待測介質的電阻率在測試過程中分別進行選擇。然而，現有的薄層電阻等值線圖的測試裝置每次只能安裝一個探頭，因此當需要測試不同的待測介質時，需要人工手動地更換探頭。手動更換探頭不但費時費力，而且手動更換還可能污染探頭，使得測試結果不準確，甚至會對探頭造成損壞。因此，需要一種薄層電阻等值線圖的測試裝置以解決上述問題。
技術實現思路
為了克服上述現有技術的不足，本專利技術提供了一種薄層電阻等值線圖的測試裝置，所述測試裝置包括多個探頭，所述探頭用于測試待測樣品的薄層電阻等值線圖；傳動裝置，所述傳動裝置包括托架、可旋轉地設置在所述托架上的傳動齒輪和設置在所述傳動齒輪的下表面的多個連接裝置，所述連接裝置將所述探頭可拆卸地安裝在所述傳動齒輪的下表面；以及傳動驅動裝置，所述傳動驅動裝置驅動所述傳動齒輪轉動，以將合適的探頭轉動到測試位置。優選地，所述傳動驅動裝置包括電動機和驅動齒輪，所述驅動齒輪與所述傳動齒輪嚙合，所述電動機用于驅動所述驅動齒輪轉動，以帶動所述傳動齒輪轉動。優選地，所述傳動裝置還包括限位裝置，所述限位裝置用于使所述合適的探頭與所述測試位置對準。優選地，所述限位裝置包括多個限位件和多個限位槽，多個所述限位件設置在所述傳動齒輪的表面的同一圓周上，多個所述限位槽設置在所述托架上，且分別與多個所述限位件相匹配。優選地，所述傳動裝置包括四個所述連接裝置和四個所述限位件，四個所述連接裝置均勻地設置在所述傳動齒輪下表面的同一圓周上，四個所述限位件分別設置在相鄰的所述連接裝置之間。優選地，所述測試裝置還包括控制所述傳動驅動裝置的控制裝置。優選地，所述測試裝置還包括移動裝置和移動驅動裝置，所述移動裝置與所述傳動裝置連接，所述移動驅動裝置驅動所述移動裝置，以帶動所述傳動裝置移動。優選地，安裝在所述傳動裝置上的探頭的縱軸線與豎直方向偏離一個角度。優選地，所述角度為20°_30°。綜上所述，根據本專利技術的薄層電阻等值線圖的測試裝置可以同時安裝多個探頭，避免需要測試不同的待測樣品時手動地更換探頭，進而提高了測試效率，并且避免更換探頭時對探頭的污染和損壞，保證測試結果的準確性。在
技術實現思路
部分中引入了一系列簡化形式的概念，這將在具體實施方式部分中進一步詳細說明。本
技術實現思路
部分并不意味著要試圖限定出所要求保護的技術方案的關鍵特征和必要技術特征，更不意味著試圖確定所要求保護的技術方案的保護范圍。以下結合附圖，詳細說明本專利技術的優點和特征。附圖說明本專利技術的下列附圖在此作為本專利技術的一部分用于理解本專利技術。附圖中示出了本專利技術的實施例及其描述，用來解釋本專利技術的原理。在附圖中， 圖1A為根據本專利技術一個實施方式的薄層電阻等值線圖的測試裝置的示意圖；以及 圖1B是根據本專利技術一個實施方式的傳動裝置的示意圖。具體實施例方式在下文的描述中，給出了大量具體的細節以便提供對本專利技術更為徹底的理解。然而，對于本領域技術人員來說顯而易見的是，本專利技術可以無需一個或多個這些細節而得以實施。在其他的例子中，為了避免與本專利技術發生混淆，對于本領域公知的一些技術特征未進行描述。為了徹底了解本專利技術，將在下列的描述中提出詳細的結構。顯然，本專利技術的施行并不限定于本領域的技術人員所熟習的特殊細節。本專利技術的較佳實施例詳細描述如下，然而除了這些詳細描述外，本專利技術還可以具有其他實施方式。本專利技術提供一種可以同時安裝多個探頭的薄層電阻等值線圖的測試裝置(以下簡稱測試裝置)。圖1A為根據本專利技術一個實施方式的薄層電阻等值線圖的測試裝置的示意圖，圖1B是根據本專利技術一個實施方式的傳動裝置的示意圖。如圖1A所示，測試裝置100包括多個探頭110、傳動裝置120和傳動驅動裝置130。探頭110用于測試待測樣品的薄層電阻等值線圖。根據本專利技術的測試裝置通常用于半導體制造領域，以此為例，所述待測樣品可以為形成在半導體晶片上的各種材料層，包括金屬層和非金屬層等等。由于不同的材料層具有不同的電阻率，金屬的電阻率較小，并且可以通過離子注入來改變電阻率，因此需要多種探頭來對不同的材料層進行測量。例如，美國Prometrix公司制造的RS35型薄層電阻等值線圖測試裝置包括A型、B型、C型和D型四種探頭，其中A型探頭主要同于測量電阻率較小的金屬介質，其它類型的探頭會依據待測樣品的電阻率分別進行選擇。參照圖1B，傳動裝置120包括托架121、傳動齒輪122和多個連接裝置123。傳動齒輪122可旋轉地設置在托架121上，多個連接裝置123設置在傳動齒輪122的下表面。托架121可以實施為圖1B中所示的外罩，其能夠可旋轉地連接傳動齒輪122，且可以將傳動齒輪122和多個連接裝置123容納在其內部。托架121還可以實施為框架結構，只要可以將傳動齒輪122可旋轉地設置在其上即可。連接裝置123將探頭可拆卸地安裝在傳動齒輪122的下表面。連接裝置123可以為具有螺紋的凹槽或通孔，且所述螺紋與探頭上的螺紋相匹配，即通過螺接結構將探頭連接在傳動齒輪122上。連接裝置123還可以為夾具，將探頭夾持在傳動齒輪122上。應當理解的是，本領域的技術人員還可以設置其它結構的連接裝置123，只要可以將探頭可拆卸地連接在傳動齒輪122的下表面即可。需要說明的是，探頭的數量可以與連接裝置123的數量相同，以將全部的探頭同時安裝在傳動齒輪122上。探頭的數量也可以與連接裝置123的數量不等，例如，探頭的數量大于連接裝置123的數量，在使用時可以僅將在該階段內需要使用的探頭安裝在傳動齒輪122上。優選地，傳動裝置120還包括限位裝置。該限位裝置用于使合適的探頭與測試位置對準，以避免該合適的探頭偏離測試位置而導致測量結果出現偏差。根據本專利技術一個實施例，限位裝置包括多個限位件124和多個限位槽125。其中，多個限位件124設置在傳動齒輪122的表面的同一圓周上，多個限位槽125設置在托架121上，且分別與多個限位件124相匹配。當傳動齒輪122轉動時，限位件124跟隨傳動齒輪122 —起轉動，而限位槽125則固定在托架121上不隨傳動齒輪122轉動。限位件124和限位槽125可以設置在傳動齒輪122的上方，也可以設置在傳動齒輪122的下方，還可以設置在傳動齒輪122的側面，只要可以對探頭起到限位作用即可。此外，限位件124可以為圖1B中示出的突出物，其形狀可以為矩形、圓形或三角形等等。限位槽125可以實施為圖中所示的形狀，可以具有其它形狀。作為示例，傳動裝置120包括四個連接裝置123和四個限位件124。通常情況下，薄層電阻等值線圖的測試裝置(例如，美國Prometrix公司制造的RS35型)包含有四種類型的探頭，因此，在傳動齒輪122上設置四個連接裝置123可以滿足一般情況的需要。四個連接裝置123均勻地設置在傳動齒輪122下表面的同一圓周上。四個限位件124本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種薄層電阻等值線圖的測試裝置，其特征在于，所述測試裝置包括：多個探頭，所述探頭用于測試待測樣品的薄層電阻等值線圖；傳動裝置，所述傳動裝置包括托架、可旋轉地設置在所述托架上的傳動齒輪和設置在所述傳動齒輪的下表面的多個連接裝置，所述連接裝置將所述探頭可拆卸地安裝在所述傳動齒輪的下表面；以及傳動驅動裝置，所述傳動驅動裝置驅動所述傳動齒輪轉動，以將合適的探頭轉動到測試位置。

【技術特征摘要】
1.一種薄層電阻等值線圖的測試裝置，其特征在于，所述測試裝置包括 多個探頭，所述探頭用于測試待測樣品的薄層電阻等值線圖； 傳動裝置，所述傳動裝置包括托架、可旋轉地設置在所述托架上的傳動齒輪和設置在所述傳動齒輪的下表面的多個連接裝置，所述連接裝置將所述探頭可拆卸地安裝在所述傳動齒輪的下表面；以及 傳動驅動裝置，所述傳動驅動裝置驅動所述傳動齒輪轉動，以將合適的探頭轉動到測試位置。2.如權利要求1所述的測試裝置，其特征在于，所述傳動驅動裝置包括電動機和驅動齒輪，所述驅動齒輪與所述傳動齒輪嚙合，所述電動機用于驅動所述驅動齒輪轉動，以帶動所述傳動齒輪轉動。3.如權利要求1所述的測試裝置，其特征在于，所述傳動裝置還包括限位裝置，所述限位裝置用于使所述合適的探頭與所述測試位置對準。4.如權利要求3所述的測試裝置，其特征在于，所述限位裝置包括多個限位件和多個限位...

【專利技術屬性】
技術研發人員：陸琦，
申請(專利權)人：無錫華潤上華科技有限公司，
類型：發明
國別省市：