本實用新型專利技術涉及自動定向粘棒儀,可有效解決現有定向粘棒儀晶片角度的合格率低,勞動強度大,影響切割效果的問題,其解決的技術方案是,包括工作臺、X射線管、計數管、靠板、測角裝置、升降裝置和平移裝置,工作臺前方一側裝有X射線管,緊挨X射線管的窗口有狹縫,工作臺后方在x光的光路上裝有計數管,狹縫與計數管之間位置有裝在同一個旋轉中心上的調角裝置和測角裝置,調角裝置上方裝有升降裝置與平移裝置,工作臺中間裝有底板,本實用新型專利技術測角準確,所切出的晶片角度合格率高,減輕操作人員的勞動強度,自動化程度高,是定向粘棒儀上的創新。(*該技術在2022年保護過期,可自由使用*)
【技術實現步驟摘要】
本技術涉及儀器,特別是一種自動定向粘棒儀。
技術介紹
目前使用的定向粘棒儀均采用將棒靠在靠板上的兩個支點,一點是固定的,另一點是千分尺。將晶棒靠在兩個支點上后,旋轉千分尺,晶棒將隨之旋轉,尋找X射線的衍射最大值。測角的晶面為晶棒兩端的任一R面。由于一根棒材平行切下的晶片,兩端的角度有誤差,一般相差20 — 30而且為逐漸變化,有些甚至誤差在I' —2'。如果要求所切晶片角度誤差在±30或更小,則只有測角那一端的晶片角度符合要求,合格率低,因此經濟效益較差。如改為測棒的Z面中間,則晶片角度的合格率會成倍的增加。在多刀機料板上,IOmm厚,20mm寬的棒材要粘5層,由于X射線的高度是固定的,因此每粘完一層,都要將沉重的料板搬下來,去掉一層墊條,再搬上料板進行下一層的操作。每層又要粘七根棒材,每粘完一根,必須將加在基準面上的力去掉,再將料板向前移動一根棒的寬度距離,再加上基準面上的力。這樣使操作人員的勞動強度極大。在粘棒時,一方面要盡量多粘棒,另一方面還要保證切割沙能流入棒材間隙,但是用目前使用的定向粘接,很難保證兩個棒材之間的等距,特別是粘第一層時更難保證,這樣影響切割效果,因此,定向粘棒儀的改進和創新是目前亟需解決的問題。
技術實現思路
針對上述情況,為解決現有技術之缺陷,本技術之目的就是提供一種自動定向粘棒儀,可有效解決現有定向粘棒儀晶片角度的合格率低,勞動強度大,影響切割效果的問題。本技術解決的技術方案是,包括工作臺、X射線管、計數管、靠板、測角裝置、升降裝置和平移裝置,工作臺前方一側裝有X射線管,緊挨X射線管的窗口有狹縫,工作臺后方在X光的光路上裝有計數管,狹縫與計數管之間位置有裝在同一個旋轉中心上的調角裝置和測角裝置,調角裝置上方裝有升降裝置與平移裝置,工作臺中間裝有底板。本技術測角準確,所切出的晶片角度合格率高,減輕操作人員的勞動強度,自動化程度高,是定向粘棒儀上的創新。附圖說明圖1為本技術的結構主視剖面圖。圖2為本技術的結構俯視圖。具體實施方式以下結合附圖對本技術的具體實施方式作進一步詳細說明。由圖1-2給出,本技術包括工作臺7、X射線管3、計數管4、靠板10、測角裝置、升降裝置和平移裝置,工作臺7前方一側裝有X射線管3,緊挨X射線管3的窗口有狹縫9,工作臺7后方在X光的光路上裝有計數管4,狹縫9與計數管4之間位置有裝在同一個旋轉中心5上的調角裝置和測角裝置,調角裝置上方裝有升降裝置與平移裝置,工作臺7中間裝有底板22。所述的調角裝置結構是,工作臺7上一側裝有調角電機30,調角電機30與裝在調角杠桿32上的調角千分尺31相連接,調角杠桿32與底板22相連,底板22兩端上面裝有兩個對稱的墊塊6,墊塊6上面裝有滑軌28,滑軌28上裝有兩個對稱的滑塊29,底板22通過底板軸承8安裝在旋轉中心5的外周上;X射線管3射出的X射線經過狹縫9后形成接近平行的X光射向裝在靠板10上的支架11上的晶棒中心位置。所述的測角裝置結構是,靠板10安裝在旋轉中心5的內軸上端,位于底板22與滑軌28之間,旋轉中心5的內軸下端在工作臺7下方一側裝有測角杠桿2,工作臺7下部與測角杠桿2同側裝有測角電機34,測角電機34與裝在測角杠桿2上的測角千分尺I相連,靠板10的上橫梁一端裝有固定晶棒的支架11,另一端裝有固定晶棒的彈簧壓片12。所述的升降裝置結構是,安裝在滑塊29上的滑板13的前方有基準面33,基準面33內四個角裝有相同的升降蝸輪15,升降蝸輪15與滑板13之間裝有升降軸承14,升降蝸輪15裝在升降軸承14的內徑上,升降蝸輪15高出滑板13部分的外徑上裝有第一同步帶輪16,滑板13的右下方安裝有升降電機19,升降電機19軸上裝有第二同步帶輪20,同步帶21將第一同步帶輪16及第二同步帶輪20連接在一起,升降蝸輪15中心旋有升降蝸桿17,升降蝸桿17上端固定在料板平臺18上。所述的平移裝置結構是,底板22上裝有平移電機23及平移蝸桿26,平移蝸桿26兩端由兩個固定在底板22上的軸承架24支撐,平移電機23的軸與平移蝸桿一端經聯軸器27連接,平移蝸輪25裝在滑板13上,平移蝸桿26套在平移蝸輪25當中。本技術的使用情況是:1、校正標準板,開機后先將標準板的角度輸入到切割角度中,校角時調角電機30帶 動調角千分尺31旋轉,再使調角杠桿32旋轉,此時則底板22,滑板13,基準面33及靠在基準面33上的標準板都將旋轉,而射到晶棒上的X射線經過衍射到計數管4,當旋轉到計數管4反應出的電壓達到最大值時,即為標準板的角度。再將當前準備切割的角度輸入到液晶顯示屏的切割角度一欄中,設備則會自動調整到當前的切割角度;2、將晶棒的厚度,及每層棒粘后的總寬度和每層粘棒的根數輸入到顯示屏相應欄內,即可開始粘棒。將晶棒靠到靠板上,并頂住固定晶棒的支架11,將彈簧壓片12搬下,壓緊晶棒的另一端,按下開始按鈕,則測角電機34帶動測角千分尺1,測角杠桿2及靠板10和晶棒同時旋轉,當找到最大值時自動停止,晶棒粘牢后,將彈簧壓片12搬上去,按一下右行鍵,即通過平移裝置自動移到粘下一根的位置,當粘完一層后,按下行鍵,則自動下降一層,停止后,再按左行鍵,即通過平移返回到粘第一根的初始位置。整個過程除了涂膠,放晶棒是手工操作外,其余全部是由CPU程序操作,自動運行。本技術粘接石英晶體時,原靠人工旋轉晶棒找角度,改為儀器自動找角度,測晶面R面改為測Z面;粘多層棒時,每加一層都需搬下料板,抽減一層墊條,再搬上料板,改為根據晶棒厚度自動降低;粘一層晶棒時,每粘一根都需人工將料板往后移一根的距離,改為自動往后移,確保每兩根距離相等。本技術與現有技術相比具有以下優點:1、可以克服只有工作幾年的操作人員才能切出合格率較高的晶片;2、可以克服即使熟練的操作人員粘得再好,由于棒材本身兩端的角度誤差,所切晶片合格率也不會很高;3、可以克服每粘一層都需將料板搬上搬下,加減墊條,不但費力而且費時;4、可以克服粘棒的棒材間距不等,影響切割精度;5、可以實現自動尋峰,改變測角位置,自動升降,自動平移。本技術設備,結構新穎獨特,傻瓜式操作,測角準確,晶片合格率高,自動化程度高,減輕了操作人員的勞動強度,可給使用單位帶來很高的經濟效益,是定向粘棒的理想換代產品,具有良好的經濟和社會效益。本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種自動定向粘棒儀,包括工作臺(7)、X射線管(3)、計數管(4)、靠板(10)、測角裝置、升降裝置和平移裝置,其特征在于,工作臺(7)前方一側裝有X射線管(3),緊挨X射線管(3)的窗口有狹縫(9),工作臺(7)后方在x光的光路上裝有計數管(4),狹縫(9)與計數管(4)之間位置有裝在同一個旋轉中心(5)上的調角裝置和測角裝置,調角裝置上方裝有升降裝置與平移裝置,工作臺(7)中間裝有底板(22)。
【技術特征摘要】
1.種自動定向粘棒儀,包括工作臺(7)、x射線管(3)、計數管(4)、靠板(10)、測角裝置、升降裝置和平移裝置,其特征在于,工作臺(7)前方一側裝有X射線管(3),緊挨X射線管(3)的窗口有狹縫(9),工作臺(7)后方在X光的光路上裝有計數管(4),狹縫(9)與計數管(4)之間位置有裝在同一個旋轉中心(5)上的調角裝置和測角裝置,調角裝置上方裝有升降裝置與平移裝置,工作臺(7)中間裝有底板(22)。2.據權利要求1所述的自動定向粘棒儀,其特征在于,所述的調角裝置結構是,工作臺(7)上一側裝有調角電機(30),調角電機(30)與裝在調角杠桿(32)上的調角千分尺(31)相連接,調角杠桿(32)與底板(22)相連,底板(22)兩端上面裝有兩個對稱的墊塊(6),墊塊(6)上面裝有滑軌(28),滑軌(28)上裝有兩個對稱的滑塊(29),底板(22)通過底板軸承(8)安裝在旋轉中心(5)的外周上;X射線管(3)射出的X射線經過狹縫(9)后形成接近平行的X光射向裝在靠板(10)上的支架(11)上的晶棒中心位置。3.據權利要求1所述的自動定向粘棒儀,其特征在于,所述的測角裝置結構是,靠板(10)安裝在旋轉中心(5)的內軸上端,位于底板(22)與滑軌(28)之間,旋轉中心(5)的內軸下端在工作臺(7)下方一側裝有測角杠桿(2),工作臺(...
【專利技術屬性】
技術研發人員:藺志新,
申請(專利權)人:藺志新,
類型:實用新型
國別省市:
還沒有人留言評論。發表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。