【技術實現步驟摘要】
本技術涉及一種泡生法晶體生長爐中的電極加熱器,特別涉及一種分立電極式加熱器。
技術介紹
泡生法晶體生長爐常用“鳥籠式”加熱器,它由一對電極,一對半圓銅環,和若干加熱棒組成。鎢棒為加熱元件,通常為“U”型,從一個電極連接到另一個電極。形成一種加熱器。由于加熱器側面的鎢棒均勻分布,底部交叉,也被稱為“鳥籠式”加熱器。其結構具有以下缺點:側面加熱棒分布均勻,但底部加熱棒分布不均勻;底部加熱棒交叉重疊,與側面相比,提供熱量太多,即底部供熱與側面供熱比例失調;底部結構固定,不可調節;加熱器維護不便。一旦某個加熱棒損壞,很難更換。因此需要對加熱器的結構進行改進,以避免現有結構的缺點。
技術實現思路
本技術的目的在于提出一種分立電極式加熱器,解決了現有加熱器,底部加熱棒分布不均勻,底部供熱與側面供熱比例失調,底部結構固定,不可調節,以及加熱器維護不便、加熱棒更換困難的問題。為達此目的,本技術采用以下技術方案:—種分立電極式加熱器,包括電極、加熱棒,所述爐體上方布置有一對以上的電極,所述一對以上的電極組成環狀,所述加熱棒分別與鄰近電極連接,所述加熱棒在爐體內呈圓周均勻分布。優選的,所述加熱棒為鎢棒。優選的,所述加熱棒底部為“L”型。優選的,所述每個電極上連接有2個以上的加熱棒。本技術加熱器的電極形成環狀,加熱棒分別與鄰近的電極連接,加熱棒底部做成“L”型,使得加熱器側面和底部都可以均勻分布,而且加熱器底部結構和長度可以調整,從而調節底部與側面供熱比例,加熱器便于維護,一旦某個加熱棒損壞,可以單獨更換。附圖說明圖1是現有“鳥籠式”加熱器結構示意圖;圖2是圖1的俯視圖;圖3是本技術 ...
【技術保護點】
一種分立電極式加熱器,包括電極、加熱棒,其特征在于:所述加熱器設有一對以上的電極,所述電極組成環狀,所述加熱棒分別與鄰近電極連接,所述加熱棒在爐體內呈圓周均勻分布。
【技術特征摘要】
1.一種分立電極式加熱器,包括電極、加熱棒,其特征在于:所述加熱器設有一對以上的電極,所述電極組成環狀,所述加熱棒分別與鄰近電極連接,所述加熱棒在爐體內呈圓周均勻分布。2.根據權利要求1所述的一種分立電極式加熱...
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