【技術實現步驟摘要】
【技術保護點】
一種激光輔助無損轉移化學氣相沉積石墨烯的方法,其特征在于,該方法在藍寶石襯底上依次生長GaN和Cu薄層,進而在Cu薄層上CVD淀積石墨烯,同時通過改變GaN薄層的生長厚度和激光波長能量,利用激光剝離襯底,實現石墨烯高效轉移。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員:閆景東,王東,寧靜,柴正,韓碭,張進成,郝躍,
申請(專利權)人:西安電子科技大學,
類型:發明
國別省市:
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