差分式聲表面波溫度傳感器制造技術

本發明專利技術涉及一種差分式聲表面波溫度傳感器，包括殼體、殼蓋、壓電基片、第一聲表面波諧振器和第二聲表面波諧振器，所述壓電基片固定在殼體內的底部，所述殼體和殼蓋密封連接，其創新點在于：還包括第一壓電薄膜，所述第一聲表面波諧振器設在壓電基片的表面，而第一壓電薄膜設在壓電基片的剩余表面和第一聲表面波諧振器的表面以及外周之上，所述第二聲表面波諧振器設在第一壓電薄膜的表面。本發明專利技術具有結構緊湊、測量精度高，而且生產成本低等優點。

【技術實現步驟摘要】

【技術保護點】
一種差分式聲表面波溫度傳感器，包括殼體（1）、殼蓋（2）、壓電基片（3）、第一聲表面波諧振器（4）和第二聲表面波諧振器（6），所述壓電基片（3）固定在殼體（1）內的底部，所述殼體（1）和殼蓋（2）密封連接，其特征在于：還包括第一壓電薄膜（5），所述第一聲表面波諧振器（4）設在壓電基片（3）的表面，而第一壓電薄膜（5）設在壓電基片（3）的剩余表面和第一聲表面波諧振器（4）的表面以及外周之上，所述第二聲表面波諧振器（6）設在第一壓電薄膜（5）的表面。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：陳卓輝，劉文，高翔，
申請(專利權)人：常州智梭傳感科技有限公司，
類型：發明
國別省市：