一種用于微納米尺度二維尺寸測量的微觸覺測頭制造技術

本實用新型專利技術為一種用于微納米尺度二維尺寸測量的微觸覺測頭，其特征在于：所述的微觸覺測頭由圓形基底、電容式傳感器陣列、懸梁、測針、懸掛彈簧及限位結構組成；圓形基底用于固定傳感器陣列及懸梁；電容式傳感器陣列作為敏感單元，用以感知位移變化；懸梁用于連接測針及傳感器陣列；測針直接與被測物接觸，以探測并傳遞位移量；懸掛彈簧起懸掛、調平懸梁的作用，并可調節測量力；限位結構用來限制懸梁及測針運動的自由度，使其只能以懸梁頂端的小球球心為原點旋轉，從而消除了測針和懸梁的整體偏移，保證了橫向位移測量的精度。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

【技術保護點】
一種用于微納米尺度二維尺寸測量的微觸覺測頭，其特征在于：所述的微觸覺測頭由圓形基底、電容式傳感器陣列、懸梁、測針、懸掛彈簧及限位結構組成；圓形基底用于固定傳感器陣列及懸梁；電容式傳感器陣列作為敏感單元，用以感知位移變化；懸梁用于連接測針及傳感器陣列；測針直接與被測物接觸，以探測并傳遞位移量；懸掛彈簧起懸掛、調平懸梁的作用，并可調節測量力；限位結構用來限制懸梁及測針運動的自由度，使其只能以懸梁頂端的小球球心為原點旋轉，從而消除了測針和懸梁的整體偏移，保證了橫向位移測量的精度。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：吳俊杰，李源，范國芳，陳欣，雷李華，毛辰飛，
申請(專利權)人：上海市計量測試技術研究院，
類型：實用新型
國別省市：