共燒結構的電導率傳感器制造技術

共燒結構的電導率傳感器，涉及一種電導率傳感器。為了解決目前電導率傳感器結構復雜的問題。上極板和下極板結構相同，上極板和下極板鏡像對稱固定在極板間基片的上表面和下表面形成“凹”字形結構；上極板1由五個極板基片組成；所述五個極板基片重疊放置，從上至下依次為第一至第五極板基片；五個極板基片上分別設置過孔，第一極板基片的上表面設置有N個電極，第三極板基片的上表面設置有N根引線，第五極板基片的下表面設置N個輸出電極，所述N個電極分別過孔與N根引線電連接，N根引線分別過孔與第五極板基片下表面的N個輸出電極電連接。所述電極裸露在外，與液體接觸。用于測量液體的電導率。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及一種電導率傳感器，特別涉及一種共燒結構的電導率傳感器。
技術介紹
在本領域中電導率傳感器(包括四電極電導率傳感器)以及共燒結工藝技術是公知的，電導率傳感器用于測量液體或在液體中懸浮的擴散固體等流體的電導率(conductibity)。電導率傳感器常常用于溶液的電解特性以及水解特性等，還被用來檢測水質量，如飲用水、工業生產用水等，廣泛應用在電力、化工、環保、食品、半導體工業、海洋研究開發等生活生產領域。共燒結技術由于具有易于實現大規模生產及實現產品微型化被廣泛應用在半導體領域，該技術包括了流延、沖孔、絲網印刷、疊片、等靜壓、切割、燒結等工藝步驟。電導率的單位是Siemens/cm。電導率的測量覆蓋從小于I X 10_7S/cm的超純水到數值超過lS/cm的濃縮溶液的廣大范圍的溶液電導率。一種電導率測量技術包括用導電性電極接觸溶液，例如，一種接觸電導率測量技術采用一種具有兩個與溶液接觸的金屬電極或去導電非金屬電極的電導率傳感器。電極間加以交流電(alternating current AC),電極間流通的AC電流可以確定電導池常數(電導系數)。接觸型電導率傳感器又被稱之為電極型電導率傳感器，這類傳感器通常采用兩個、四個甚至七個接觸電極，這些電極與被測液體直接接觸。擁有四個電極的電極型電導率傳感器，四個電極暴露在被測溶液中，其中一對電極施加一恒定的電流，測量另外一對電極間的電壓變化，根據電流和電壓值，計算出液體的電導率值。傳統的四電極結構是將導電介質材料(不銹鋼、鈦合金、石墨、金、鉬、銀等)加工成具有一定直徑的圓柱體，密封到塑料、陶瓷等不導電基座中，從而制作具有四個電極的接觸型電導率傳感器?；囊欢藢㈦姌O暴露到被測溶液中。圖1是傳統結構的四電極電導率傳感器示意圖。傳感器14連接到信號處理系統18。傳感器14的表面17將導電棒15的表面16暴露于被測溶液。圖2是傳感器14的仰視圖,顯不導電棒15的表面16。近年來，通過使用半導體平面技術制造接觸型電導率傳感器，通過半導體處理技術將電極沉積在無源硅片上，這種技術制造的電導率傳感器尺寸小，適于大規模制造，制造成本低，但制造方法困難，結構復雜。
技術實現思路
本技術的目的是為了解決目前電導率傳感器結構復雜的問題，本技術提供一種共燒結構的電導率傳感器。本技術的共燒結構的電導率傳感器，它包括上極板、下極板和極板間基片；所述上極板I和下極板結構相同，上極板和下極板鏡像對稱固定在極板間基片的上表面和下表面形成“凹”字形結構；上極板和下極與極板間基片連接的一端為固定端，另一端為懸空端;上極板I由五個極板基片組成；所述五個極板基片重疊放置，從上至下依次為第一極板基片、第二極板基片、第三極板基片、第四極板基片和第五極板基片；第一極板基片的懸空端的上表面設置有N個電極，第三極板基片的上表面設置有N根引線，第五極板基片的下表面設置N個輸出電極，第一極板基片、第二極板基片、第三極板基片、第四極板基片和第五極板基片分別設置N個過孔，所述過孔為各自基片的上表面至下表面通透的孔，所述通透的孔內設置有導電金屬；所述N個電極分別通過第一極板基片上的N個過孔和第二極板基片上的N個過孔與第三極板基片上的N根引線連接，第三極板基片上的N根引線分別通過第三極板基片上的N個過孔、第四極板基片上的N個過孔和第五極板基片的N個過孔與第五極板基片下表面的N個輸出電極連接。本技術的優點在于，本技術的電導率傳感器的電導率結構實現小型化，并且可以通過調整電極尺寸及基片層數制作不同測量范圍的電導率傳感器，且結構簡單，成本較低。附圖說明圖1是傳統結構的四電極電導率傳感器及其檢測系統的示意圖。圖2是圖1中的四電極電導率傳感器的仰視圖。圖3是本技術的共燒結構的電導率傳感器的立體結構示意圖。圖4是本技術的共燒結構的電導率傳感器的結構組合示意圖。圖5是本技術的共燒結構的電導率傳感器的下極板的結構組合示意圖。圖6是圖3的A-A剖面圖。圖7是本技術的共燒結構的電導率傳感器的第一極板基片的俯視圖。圖8是圖7的B-B剖視圖。圖9是本技術的共燒結構的電導率傳感器的第二極板基片的俯視圖。圖10是圖9的C-C剖視圖。圖11是本技術的共燒結構的電導率傳感器的第三極板基片的俯視圖。圖12是圖11的D-D剖視圖。圖13是本技術的共燒結構的電導率傳感器的第四極板基片的俯視圖。圖14是圖13的E-E剖視圖。圖15是本技術的共燒結構的電導率傳感器的第五極板基片的俯視圖。圖16是圖15的F-F剖視圖。具體實施方式具體實施方式一:結合圖1至圖16說明本實施方式，本實施方式所述的共燒結構的電導率傳感器，它包括上極板1、下極板和極板間基片3 ;所述上極板I和下極板結構相同，上極板和下極板鏡像對稱固定在極板間基片3的上表面和下表面形成“凹”字形結構；上極板和下極與極板間基片3連接的一端為固定端，另一端為懸空端；上極板I由五個極板基片組成；所述五個極板基片重疊放置，從上至下依次為第一極板基片第二極板基片1-1-2、第二極板基片1-1-3、第四極板基片1-1-4和第五極板基片1-1-5 ；第一極板基片1-1-1的懸空端的上表面設置有N個電極1-2，第三極板基片1-1-3的上表面設置有N根引線1-3,第五極板基片1-1-5的下表面設置N個輸出電極1-4,第一極板基片1-1-1、第二極板基片1-1-2、第三極板基片1-1-3、第四極板基片1-1-4和第五極板基片1-1-5分別設置N個過孔，所述過孔為各自基片的上表面至下表面通透的孔，所述通透的孔內設置有導電金屬；所述N個電極1-2分別通過第一極板基片1-1-1上的N個過孔和第二極板基片1-1-2上的N個過孔與第三極板基片1-1-3上的N根引線1-3連接，第三極板基片1_1_3上的N根引線1-3分別通過第三極板基片1-1-3上的N個過孔、第四極板基片上的N個過孔和第五極板基片1-1-5的N個過孔與第五極板基片1-1-5下表面的N個輸出電極1-4連接。具體實施方式二:本實施方式是對具體實施方式一所述的共燒結構的電導率傳感器進一步限定，所述第二極板基片1-1-2與第四極板基片1-1-4均為單層或多層結構。具體實施方式三:本實施方式是對具體實施方式一所述的共燒結構的電導率傳感器進一步限定，極板間基片3為單層或多層結構。在實際應用中，根據對所述電導率傳感器的性能確定極板間基片3的厚度。具體實施方式四:本實施方式是對具體實施方式一所述的共燒結構的電導率傳感器進一步限定，所述N等于I或2或3或4或5。具體實施方式五:本實施方式是對具體實施方式一所述的共燒結構的電導率傳感器進一步限定，上極板I還包括溫度檢測元件4，第五極板基片1-1-5還包括兩個溫度檢測輸出電極1-5，所述溫度檢測元件4設置在第三極板基片1-1-3的上表面，所述溫度檢測元件4的兩端分別通過第三極板基片1-1-3上的過孔、第四極板基片1-1-4上的過孔和第五極板基片1-1-5上的過孔與第五極板基片1-1-5的兩個溫度檢測輸出電極1-5連接。結合圖1至圖16說明四電極的共燒結構的電導率傳感器，所述N等于2，圖6是圖3剖面圖。上極板I上設置4個過孔6，過孔用于電極1-2與引線1-3及引線1-3與本文檔來自技高網...

【技術保護點】
共燒結構的電導率傳感器，其特征在于，它包括上極板(1)、下極板和極板間基片(3)；所述上極板(1)和下極板結構相同，上極板和下極板鏡像對稱固定在極板間基片(3)的上表面和下表面形成“凹”字形結構；上極板和下極與極板間基片(3)連接的一端為固定端，另一端為懸空端；上極板(1)由五個極板基片組成；所述五個極板基片重疊放置，從上至下依次為第一極板基片(1?1?1)、第二極板基片(1?1?2)、第三極板基片(1?1?3)、第四極板基片(1?1?4)和第五極板基片(1?1?5)；第一極板基片(1?1?1)的懸空端的上表面設置有N個電極(1?2)，第三極板基片(1?1?3)的上表面設置有N根引線(1?3)，第五極板基片(1?1?5)的下表面設置N個輸出電極(1?4)，第一極板基片(1?1?1)、第二極板基片(1?1?2)、第三極板基片(1?1?3)、第四極板基片(1?1?4)和第五極板基片(1?1?5)分別設置N個過孔，所述過孔為各自基片的上表面至下表面通透的孔，所述通透的孔內設置有導電金屬；所述N個電極(1?2)分別通過第一極板基片(1?1?1)上的N個過孔和第二極板基片(1?1?2)上的N個過孔與第三極板基片(1?1?3)上的N根引線(1?3)連接，第三極板基片(1?1?3)上的N根引線(1?3)分別通過第三極板基片(1?1?3)上的N個過孔、第四極板基片上的N個過孔和第五極板基片(1?1?5)的N個過孔與第五極板基片(1?1?5)下表面的N個輸出電極(1?4)連接。...

【技術特征摘要】
1.共燒結構的電導率傳感器，其特征在于，它包括上極板(I)、下極板和極板間基片(3);所述上極板(I)和下極板結構相同，上極板和下極板鏡像對稱固定在極板間基片(3)的上表面和下表面形成“凹”字形結構；上極板和下極與極板間基片(3)連接的一端為固定端，另一端為懸空端； 上極板(I)由五個極板基片組成；所述五個極板基片重疊放置，從上至下依次為第一極板基片(1-1-1)、第二極板基片(1-1-2)、第三極板基片(1-1-3)、第四極板基片(1-1-4)和第五極板基片(1-1-5)； 第一極板基片(1-1-1)的懸空端的上表面設置有N個電極(1-2)，第三極板基片(1-1-3)的上表面設置有N根引線(1-3)，第五極板基片(1-1-5)的下表面設置N個輸出電極(1-4)， 第一極板基片、第二極板基片(1-1-2)、第二極板基片(1-1-3)、第四極板基片(1-1-4)和第五極板基片(1-1-5)分別設置N個過孔，所述過孔為各自基片的上表面至下表面通透的孔，所述通透的孔內設置有導電金屬； 所述N個電極(1-2)分別通過第一極板基片(1-1-1)上的N個過孔和第二極板基片(1-1-2)上的N個過孔與第三極板基...

【專利技術屬性】
技術研發人員：秦浩，尤佳，傅巍，祁欣，
申請(專利權)人：中國電子科技集團公司第四十九研究所，
類型：實用新型
國別省市：