一種MEMS結構的掃描標準具制造技術

本實用新型專利技術涉及一種MEMS結構的掃描標準具，其包括光纖、微透鏡、光電二極管或接受光纖，所述的光纖光輸出端面設有反射膜，光輸出端設有微型凸透鏡，所述的微型凸透鏡和微透鏡之間設有MEMS活動片，所述的光纖與MEMS活動片構成共焦腔掃描標準具，掃描標準具的焦點在MEMS活動片端面上。本實用新型專利技術通過在光纖光輸出端面設有反射膜，光輸出端設有微型凸透鏡，并在微型凸透鏡與微透鏡之間設有MEMS活動片，從而使光纖與MEMS活動片構成共焦腔掃描標準具，掃描標準具的焦點在MEMS活動片端面上，本實用新型專利技術結構簡單，微型凸透鏡采用氣溶膠成型，表層設有氬層，將氣溶膠技術應用到掃描標準具中，成型簡單，與光纖良好的結合。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

本技術屬于光學領域，特別涉及一種MEMS結構的掃描標準具。
技術介紹
標準具作為重要光學元件廣泛用于通訊，光學測量領域。常規的標準具有二種，一是空氣隙標準具，該空氣隙標準具腔為空氣隙或真空，由于標準隔圈采用溫度不敏感光學材料制作，所以溫度穩定性較高；二是直接在光學材料平行平片兩面鍍膜形成標準具，該標準具的特點是成本低，但光學材料通常溫度變化引起膨脹和折射率變化，所以溫度性能較差。還有一種活動標準具，即標準具腔長可以變化，該標準具的一個腔可以移動，其移動式通常采用電壓陶瓷(PZT)或MEMS (Micro Electro Mechanical System,微機電系統)，該標準具移動量較小，精度要求高，成本也高；標準腔長可以變化的還有采用實心標準具或空氣標準具溫控來改變腔長，其特點是變化量小，而且時間長；而采用一個薄片通過轉動方式改變腔長，通常是采用超薄片，其改變是較小的，而且亦不易控制。由于標準具是對光學反射面平行度要求極高的光學元件。實際較大范圍動態變化是十分困難的。
技術實現思路
本技術的目的是為了提供結構簡單，能夠形成共焦腔的一種MEMS結構的掃描標準具。為了實現上述目的，本技術如下技術方案:該一種MEMS結構的掃描標準具,其包括光纖、微透鏡、光電二極管或接受光纖,所述的光纖光輸出端面設有反射膜，光輸出端設有微型凸透鏡，所述的微型凸透鏡和微透鏡之間設有MEMS活動片，所述的光纖與MEMS活動片構成共焦腔掃描標準具，掃描標準具的焦點在MEMS活動片端面上。所述的微型凸透鏡為氣溶膠成型，表層設有氬層。所述的微型凸透鏡與MEMS活動片間距5-50 μ m。所述的光纖為TEC光纖。本技術采用以上技術方案:通過在光纖光輸出端面設有反射膜，光輸出端設有微型凸透鏡，并在微型凸透鏡與微透鏡之間設有MEMS活動片，從而使光纖與MEMS活動片構成共焦腔掃描標準具，掃描標準具的焦點在MEMS活動片端面上，本技術結構簡單，微型凸透鏡采用氣溶膠成型，表層設有氬層，將氣溶膠技術應用到掃描標準具中，成型簡單，與光纖良好的結合。以下結合附圖和具體實施方式對本技術作進一步詳細的說明:附圖說明圖1為本技術微型的結構示意圖。具體實施方式根據圖1對本技術作詳細描述。本技術包括光纖1，微透鏡2、光電二極管或接受光纖3，光纖I光輸出端面設有反射膜11，光輸出端設有微型凸透鏡12，微型凸透鏡12為氣溶膠成型，表層設有氬層，所述的微型凸透鏡12和微透鏡2之間設有MEMS活動片4，微型凸透鏡12與MEMS活動片4間距5_50 μ m,光纖I與MEMS活動片4構成共焦腔掃描標準具，掃描標準具的焦點在MEMS活動片4端面上。所述的光纖I為TEC光纖。本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種MEMS結構的掃描標準具，其包括光纖、微透鏡、光電二極管或接受光纖，其特征在于：所述的光纖光輸出端面設有反射膜，光輸出端設有微型凸透鏡，所述的微型凸透鏡和微透鏡之間設有MEMS活動片，所述的光纖與MEMS活動片構成共焦腔掃描標準具，掃描標準具的焦點在MEMS活動片端面上。

【技術特征摘要】
1.一種MEMS結構的掃描標準具，其包括光纖、微透鏡、光電二極管或接受光纖，其特征在于:所述的光纖光輸出端面設有反射膜，光輸出端設有微型凸透鏡，所述的微型凸透鏡和微透鏡之間設有MEMS活動片，所述的光纖與MEMS活動片構成共焦腔掃描標準具，掃描標準具的焦點在MEMS活動片端面上。2.根據權利要求1所...

【專利技術屬性】
技術研發人員：吳礪，賀坤，劉國宏，
申請(專利權)人：福州高意通訊有限公司，
類型：實用新型
國別省市：