機器人系統技術方案

本發明專利技術涉及一種機器人系統，該機器人系統包括：機器人，該機器人包括手和臂，所述手包括夾持薄板狀工件的夾持機構，所述臂用于使所述手移動；以及機器人控制設備，該機器人控制設備控制所述機器人。當所述機器人控制設備通過控制所述機器人而使所述機器人在預定的工件搬運位置處搬運所述工件時，所述機器人控制設備在所述手到達所述工件搬運位置之后使所述手退回的同時，通過操作所述夾持機構來執行所述工件的存在與否確認。

【技術實現步驟摘要】

本文所討論的實施方式涉及機器人系統。
技術介紹
常規上，已知有一種機器人系統，該機器人系統通過利用諸如水平多關節機器人的機器人而在半導體制造過程中將諸如晶片的基板搬入/搬出處理設備。在這樣的機器人系統中，隨著作為待搬運物體的基板的尺寸的增加和成本的升高，安全且可靠地搬運基板的重要性也已提高。因此，近來，已提出用于安全且可靠地搬運基板的各種技術。例如，日本專利特開公報2011-159738公開了一種通過為用于放置基板的機器人手設置夾持機構來防止基板在搬運期間發生偏移等的技術。在日本專利特開公報2011-159738中描述的技術中，為了由夾持機構可靠地夾持基板，在機器人從處理設備接收到基板之后機器人被臨時停止并且接著操作夾持機構。此夕卜，在日本專利特開公報2011-159738中描述的技術中，基于在操作夾持機構之后該夾持機構的操作狀態來確認基板的存在與否，并且在確認了基板存在于手上之后，機器人再次操作以退回手。然而，在日本專利特開公報2011-159738中描述的技術中，夾持操作和基板存在與否確認獨立于手的退回操作來執行。換言之，在日本專利特開公報2011-159738中描述的技術中，在執行夾持操作和基板的存在與否確認時不執行手的退回操作，因此搬運基板所需要的時間會變長。鑒于以上內容，而形成實施方式的一方面，并且實施方式的一方面的目的在于提供一種能夠縮短搬運基板所需要的時間的機器人系統。
技術實現思路
根據實施方式的一方面的機器人系統包括:機器人，該機器人包括手和臂，所述手包括夾持薄板狀工件的夾持機構，所述臂使所述手移動；以及機器人控制設備，該機器人控制設備控制所述機器人。當所述機器人控制設備通過控制所述機器人使所述機器人在預定的工件搬運位置處搬運所述工件時，所述機器人控制設備在所述手到達所述工件搬運位置之后使所述手退回的同時，通過操作所述夾持機構來執行所述工件的存在與否確認。根據實施方式的一方面，能夠縮短搬運基板所需要的時間。附圖說明通過參考結合附圖考慮的下面詳細說明，將容易獲得對本專利技術的更全面認識以及本專利技術的許多附帶優點，這是因為能夠更好地理解本專利技術及其附帶優點，在附圖中:圖1是示出根據第一實施方式的機器人系統的構造的示意圖；圖2是示出機器人的構造的示意圖3是手的示意性立體圖；圖4A至圖4C是晶片檢測機構的構造和操作的說明圖；圖5是示出機器人控制設備的構造的框圖；圖6A是根據第一實施方式的晶片接收操作的說明圖；圖6B是根據第一實施方式的晶片輸送操作的說明圖；圖7是示出晶片接收處理的處理過程的流程圖；圖8是示出晶片輸送處理的處理過程的流程圖；圖9A是根據第二實施方式的晶片接收操作的說明圖；圖9B是根據第二實施方式的晶片輸送操作的說明圖；圖1OA是根據第三實施方式的晶片接收操作的說明圖；圖1OB是根據第三實施方式的晶片輸送操作的說明圖；圖1lA是根據晶片接收操作的另一說明圖；以及圖1lB是根據晶片輸送操作的另一說明圖。具體實施例方式在下文中，將參照附圖詳細地說明在本申請中公開的機器人系統的實施方式。在以下所示的實施方式中，以其中機器人包括兩個手(即，上部手和下部手)的情況作為示例進行說明，然而，機器人可以僅包括一個手。本專利技術不局限于以下的實施方式。首先，將參照圖1說明根據第一實施方式的機器人系統的構造。圖1是示出根據第一實施方式的機器人系統的構造的不意圖。下列說明中，為了闡明位置關系，限定彼此正交的X軸方向、Y軸方向和Z軸方向。此外，在下列說明中，Z軸正向方向為豎直向上，并且X軸方向和Y軸方向為水平方向。如圖1所示，根據第一實施方式的機器人系統I包括基板搬運單元2、基板供給單元3和基板處理單元4。基板搬運單元2包括機器人10和容納該機器人10的外殼20。機器人10包括:手11，該手能夠保持作為待搬運物體的晶片W ;臂12，該臂沿水平方面移動手11 ;以及基座13，該基座支承臂12以使得所述臂12能夠升降并且能沿水平方向樞轉。基座13布置在基座安裝框架23上，所述基座安裝框架形成為外殼20的底壁部。 機器人10在基板供給單元3和基板處理單元4之間執行晶片W的搬運操作，例如，從基板供給單元3接收晶片W和將所接收到的晶片W輸送到基板處理單元4的操作。此外，機器10的手11設置有用于夾持晶片W的夾持機構。除了夾持機構之外，稍后將參照圖2描述機器人10的具體構造和操作。外殼20例如是被稱為EFEM (設備前端模塊)的局部清潔裝置，并且通過設置在上部中的過濾器單元24來產生清潔空氣的向下流。外殼20的內部借助該向下流而保持在高清潔狀態。腿部25設置在基座安裝框架23的下表面上，并且在外殼20與安裝表面100之間借助腿部25形成有預定間隙。基板供給單元3連接到外殼20的位于X軸正向方向側的側面21，從而允許基板供給單元3與外殼20的內部連通。此外，基板處理單元4連接到外殼20的在X軸負向方向側的側面22，從而允許基板處理單元4與外殼20的內部連通。這樣，在機器人系統I中，基板供給單元3和基板處理單元4經由外殼20而彼此連接。基板供給單元3包括:F0UP (前端開口片盒)30，該FOUP沿豎直方向以多段的方式存放多個晶片W ;以及臺31，該臺用于將F0UP30支承在預定高度。在F0UP30中，未示出的蓋被布置在面向外殼20側的狀態，并且F0UP30經由FOUP打開器(未示出)連接到外殼20，所述FOUP打開器用于打開和關閉所述蓋。能夠在臺31上沿著Y方向平行地布置多個F0UP30。基板處理單元4例如是這樣的處理單元，該處理單元在半導體制造過程中對晶片W執行預定處理，例如清潔處理、膜沉積處理和光刻處理。基板處理單元4包括執行預定處理的處理設備40。機器人系統I如上所述被構成，并且通過利用機器人10來執行將容納在F0UP30中的晶片W搬運到處理設備40、將由處理設備40處理后的晶片W搬運到F0UP30等。在根據第一實施方式的機器人系統I中，通過設計操作夾持晶片W的夾持機構的正時和手11所沿的路徑來縮短搬運晶片W所需要的時間并且防止晶片W的摩擦。以下將具體地描述這些部分。圖2是示出機器人10的構造的示意圖。如圖2所示，根據第一實施方式的機器人10包括手11、臂12和基座13。此外，臂12包括升降單元12a、關節12b、12d和12f、第一臂單元12c以及第二臂單元12e。基座13是機器人10的安裝在基座安裝框架23 (參見圖1)上的基礎單元。升降單元12a以能夠從基座13沿豎直方向(Z軸方向)滑動的方式設置(參見圖2中的雙頭箭頭a0)，并且沿豎直方向升降所述臂12。關節12b是繞軸線al的旋轉關節(參見圖2中的繞軸線al的雙頭箭頭)。第一臂單元12c借助關節12b連接到升降單元12a，以能夠相對于升降單元12a旋轉。此外，關節12d是繞軸線a2的旋轉關節(參見圖2中的繞軸線a2的雙頭箭頭)。第二臂單元12e借助關節12d連接到第一臂單元12c,以能夠相對于第一臂單元12c旋轉。此夕卜，關節12f是繞軸線a3的旋轉關節(參見圖2中的繞軸線a3的雙頭箭頭)。手11借助關節12f連接到第二臂單元12e,以能夠相對于第二臂單元12e旋轉。機器人10設置有諸如馬達的未示出的驅動源，并且隨著關節12b、12d和12f的驅動而旋本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種機器人系統，所述機器人系統包括：機器人，該機器人包括手和臂，所述手包括夾持薄板狀工件的夾持機構，所述臂用于使所述手移動；以及機器人控制設備，該機器人控制設備控制所述機器人，其中，當所述機器人控制設備通過控制所述機器人而使所述機器人搬運在預定的工件搬運位置處的所述工件時，所述機器人控制設備在所述手到達所述工件搬運位置之后使所述手退回的同時，通過操作所述夾持機構來執行所述工件的存在與否確認。

【技術特征摘要】
2012.01.24 JP 2012-0119671.一種機器人系統，所述機器人系統包括: 機器人，該機器人包括手和臂，所述手包括夾持薄板狀工件的夾持機構，所述臂用于使所述手移動；以及 機器人控制設備，該機器人控制設備控制所述機器人，其中， 當所述機器人控制設備通過控制所述機器人而使所述機器人搬運在預定的工件搬運位置處的所述工件時，所述機器人控制設備在所述手到達所述工件搬運位置之后使所述手退回的同時，通過操作所述夾持機構來執行所述工件的存在與否確認。2.根據權利要求1所述的機器人系統，其中，當所述機器人控制設備使所述機器人執行夾持所述工件的操作時，該機器人控制設備執行多次所述存在與否確認，并且當在第二次及隨后的存在與否確認中確認了在所述手上不存在所述工件時，所述機...

【專利技術屬性】
技術研發人員：木村吉希，
申請(專利權)人：株式會社安川電機，
類型：發明
國別省市：