金屬絲放電加工裝置以及半導體晶片制造方法制造方法及圖紙

獲得將金屬絲（3）在主引導輥（1a～1d）間卷掛多次并同時進行多個切斷加工的金屬絲放電加工裝置，該金屬絲放電加工裝置抑制切斷金屬絲部（CL）的振動而能夠進行穩定加工。與主引導輥（1a～1d）分開地以引導金屬絲（3）并形成抑制了振動的多個切斷金屬絲部（CL）的方式具備從動式的減振引導輥（7a，7b）或者減振引導件（21a，21b），規定切斷金屬絲部（CL）相對噴嘴（8a，8b）的位置。

【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】
本專利技術涉及金屬絲放電加工裝置以及利用它的切斷加工方法以及對半導體結晶進行切斷加工而得的半導體晶片的制造方法。
技術介紹
以往，在利用金屬絲放電加工從柱狀的被加工物通過切斷加工制作薄板形狀的晶片的情況下，利用多個金屬絲進行同時加工，為了提高上述切斷加工的生產性，提出了將一根金屬絲在多個引導輥間反復卷掛的方式。該方式的金屬絲放電加工裝置，形成金屬絲按恒定間距并列配置的切斷金屬絲部，使該切斷金屬絲部接近被加工物，而且，利用供電件對切斷金屬絲部分別單獨地供電，由此在各切斷金屬絲部與被加工物之間產生放電同時，在多個部位并列地進行切斷加工(例如參照專利文獻I)。另外，已知有在將一根金屬絲在多個引導輥間反復卷掛的金屬絲放電加工裝置中、設置用于抑制供電件或切斷金屬絲部的振動的按壓棒的構成(例如參照專利文獻2)。進而，已知有通過將金屬絲放電加工的金屬絲推壓于供電件、也可抑制金屬絲的振動的構成(例如參照專利文獻3)。進而，在專利文獻4中記載了金屬絲切割加工裝置的形成有槽的引導輥以及對多個金屬絲供電的供電件。在先技術文獻專利文獻專利文獻1:日本特開2000-94221號公報專利文獻2:日本特開2010-5735號公報專利文獻3:日本特開平5-96421號公報專利文獻4:日本實開昭54-17291號公報
技術實現思路
專利技術所要解決的課題然而，在專利文獻I那樣的金屬絲放電加工裝置中，無法避免因引導輥的形狀誤差或偏心、軸承的振動、馬達的旋轉不均等導致的引導輥的振動，該引導輥的振動傳遞給金屬絲，在與被加工物相向的切斷金屬絲部產生振動。因而，在金屬絲與被加工物的距離即放電間隙微小的條件下進行放電加工來制作半導體晶片的情況下，由于切斷金屬絲部的振動，致使放電間隙發生數微米的變動，由此導致放電變得不穩定，加工精度降低。其結果，存在在形成于被加工物的加工槽的寬度上產生偏差、同時切出的晶片的厚度偏差增大這樣的問題。進而，在專利文獻2以及專利文獻3那樣的金屬絲放電加工裝置中，在抑制金屬絲振動的機構中沒有設置控 制金屬絲間的間隔的機構，在應用于反復卷掛金屬絲的放電加工裝置的情況下，有時在多個加工中金屬絲的間隔會發生變動。另外，抑制金屬絲振動的機構有時兼具供電件等傳遞電信號的功能，在這種情況下需要以導電性材料構成，存在作為向金屬絲推壓的結構物不一定充分的情形。另外，專利文獻4的供電件僅設在被加工物的單側，供電件的槽也是無法充分抑制金屬絲的橫向偏移的結構。本專利技術是為了解決上述那樣的問題而做出的，其目的在于獲得可抑制切斷金屬絲部的振動、能高精度地進行切斷加工的。用于解決課題的手段本專利技術所涉及的金屬絲放電加工裝置具備:一對引導輥，該一對引導輥隔開間隔地平行配設；一根金屬絲，該金屬絲在一對引導輥間按恒定的間距分離并被卷掛多次，在引導輥間形成并列金屬絲部，隨著引導輥的旋轉而行進；一對減振引導輥，該一對減振引導輥設在一對引導輥間，與 并列金屬絲部從動地接觸，形成得到減振的多個切斷金屬絲部；和多個供電件，該多個供電件分別對多個切斷金屬絲部進行供電。另外，本專利技術所涉及的金屬絲放電加工裝置具備:一對引導輥，該一對引導輥隔開間隔地平行配設；一根金屬絲，該金屬絲在引導輥間按恒定的間距分離并被卷掛多次，在引導輥間形成并列金屬絲部，隨著引導輥的旋轉而行進；一對減振引導件，該一對減振引導件設在一對引導輥間，與并列金屬絲部接觸，形成得到減振的多個切斷金屬絲部；和多個供電件，該多個供電件分別對多個切斷金屬絲部進行供電。專利技術的效果根據本專利技術，可抑制切斷金屬絲部的振動，即使在微小的放電間隙下也能實現穩定的金屬絲放電加工，可提高加工精度。附圖說明圖1是表示實施方式I中的金屬絲放電加工裝置的構成的側視圖。圖2是表示加工中的金屬絲和被加工物的位置關系的剖面圖。圖3是表示本專利技術所涉及的減振引導輥的結構的剖面圖。圖4是表示本專利技術所涉及的噴嘴的立體圖。圖5是表示本專利技術所涉及的噴嘴的結構的剖面圖。圖6是表示實施方式I中的金屬絲放電加工裝置的構成的立體圖。圖7是表示實施方式2中的金屬絲放電加工裝置的構成的側視圖。圖8是表示實施方式3中的金屬絲放電加工裝置的構成的側視圖。圖9是表示實施方式3中的金屬絲放電加工裝置的構成的側視圖。圖10是表示實施方式4中的金屬絲放電加工裝置的構成的立體圖。圖11是表示實施方式4中的金屬絲放電加工裝置的減振引導件的構成的側視圖。具體實施例方式實施方式1.圖1是表示本專利技術的實施方式I所涉及的金屬絲放電加工裝置的主要部分的構成的側視圖。主引導輥Ia Id是構成金屬絲行進系統的主要的引導輥，在該金屬絲放電加工裝置中，相同直徑的四個主引導輥相互平行地隔開間隔配置。從金屬絲繞架2輸出的一根金屬絲3，依次跨在四個主引導輥Ia Id間，按恒定的間距分離并反復卷掛。金屬絲3隨著主引導輥Ia Id的旋轉而行進，最后到達金屬絲卷繞繞架4。主引導輥lc，ld設置在隔著被加工物5的位置，通過將金屬絲3在兩主引導輥間以恒定的張力張拉，構成相互在主引導輥的軸向分離的多個并列金屬絲部PS。另外，在本說明書中，并列金屬絲部PS是指從主引導輥Ic送出直到被卷掛于主引導輥Id的部分。在上述并列金屬絲部PS內，包括與被加工物5相向的部分的被以直線狀張拉的區域成為切斷金屬絲部CL。圖1示出了被加工物5的切斷開始、切斷金屬絲部CL在被加工物5的內部行進的狀態。與并列金屬絲部PS接觸地配置的供電件單元6a，6b，是相對切斷金屬絲部CL單獨地供給電壓脈沖的電極，在圖1中配置兩個。另外，在供電件單元6a，6b間的并列金屬絲部PS上配置減振引導輥7a，7b，維持金屬絲3始終被掛住的狀態地對金屬絲3進行引導。即，減振引導輥7a，7b，是設在一對主引導輥間與并列金屬絲部PS從動地接觸的、直徑比主引導輥更小的引導輥，形成支承金屬絲3并將金屬絲3張拉成直線狀的多個切斷金屬絲部CL。如后所述，減振引導輥7a，7b間的切斷金屬絲部CL抑制了金屬絲振動，行進位置成為大體靜止狀態。進而，在切斷金屬絲部CL的區域配置噴嘴8a，8b，從面對地配置的噴嘴8a，8b沿著切斷金屬絲部CL向被加工物5的切斷部噴出加工液。切斷金屬絲部CL在噴嘴8a，8b內貫通，但不與噴嘴內面接觸。載架9是載置被加工物5并進行上升、下降的臺，從載架9描繪出的箭頭表不載架9的上升方向。金屬絲3對于主引導輥Ia Id分別卷掛輥外周的一部分(約1/4周)，相對于四個主引導輥Ia Id整體呈圍繞形態。主引導輥Ia Id構成從金屬絲繞架2到達金屬絲卷繞繞架4的路徑，構成為確保用于使被加工物5經過切斷金屬絲部CL而不與其以外的金屬絲發生干涉的空間。主引導輥lc，Id為驅動式引導輥，配置在其上方的主引導輥la，Ib為從動式引導輥。驅動式引導輥的軸與馬達連接而被旋轉驅動，相對于此，從動式引導輥不產生驅動力，隨著金屬絲行進而旋轉。減振引導輥7a，7b是配置成與并列金屬絲部PS接觸并卷掛金屬絲3的從動式的引導輥，隨著金屬絲3的行進而從動地進行旋轉。在圖1中，圍繞主引導輥Ia Id的軸描繪的箭頭表示各主引導輥的旋轉方向，沿著金屬絲3描繪的箭頭表示金屬絲3的行進方向。(在后述的圖6中，示出了本實施例的金屬絲放電加工裝置中的金屬絲3的立體卷掛狀態以及供電件單元6a，6b。)主引導本文檔來自技高網...

【技術保護點】

【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】...

【專利技術屬性】
技術研發人員：三宅英孝，佐藤達志，福島一彥，
申請(專利權)人：三菱電機株式會社，
類型：
國別省市：