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    一種疏通放空管內積渣的裝置制造方法及圖紙

    技術編號:8987592 閱讀:186 留言:0更新日期:2013-08-01 04:23
    本實用新型專利技術涉及一種疏通放空管內積渣的裝置,特別是處理多晶硅生產過程中產生廢氣及殘液的裝置,適用于多種氯硅烷或氯化氫混合的有害氣體,屬廢氣處理領域。疏通放空管內積渣的裝置,安全液封罐的頂部裝有一根放空管,安全液封罐上側部接有淋洗液進口,安全液封罐下側部各裝有排污閥門和出液閥門,放空管與安全液封罐的頂部之間通過法蘭盤連接,其特征在于安全液封罐與放空管之間的連接管道上串聯連接一個蝶閥,放空側部安裝有一根工業水管及閥門、取樣閥和/或一根氮氣管及閥門。本實用新型專利技術裝置能減少清理放空管的工作量,也大大降低清理放空管的難度,節約大量的時間及人力,清除廢渣的效果更好,操作人員的安全也得到有效保證,從而提高廢氣及殘液裝置處理多晶硅生產過程中產生的廢氣及殘液處理能力。(*該技術在2022年保護過期,可自由使用*)

    【技術實現步驟摘要】

    :本技術涉及一種疏通放空管內積渣的裝置,特別是處理多晶硅生產過程中產生廢氣及殘液的裝置,適用于多種氯硅烷或氯化氫混合的有害氣體,屬廢氣處理領域。技術背景:現在多晶硅生產過程中產生的廢氣及殘液,都是采用淋洗處理裝置。淋洗處理裝置是由淋洗塔、NaOH溶液循環泵、安全液封罐、放空管、接收地槽等主要設備組成,接收地槽及安全液封罐中的淋洗液主要以水和氫氧化鈉為主,極易與氯硅烷或氯化氫發生反應,生成大量的廢洛,廢渣主要成分為H2Si03、Na2Si03、Si02、NaCl等。廢渣因反應產生的堆積在安全液封罐內,導致安全液封罐頂部的放空管頻繁堵塞,淋洗處理裝置不能正常處理廢氣及殘液。放空管頻繁堵塞嚴重影響了廢氣及殘液處理站處理廢氣及殘液的效率,進而影響了多晶硅的正常生產。為此,需要經常對安全液封罐頂部進行清理。常規清理放空管過程是:先拆卸放空管與安全液封罐之間法蘭連接盤螺栓,然后再用千斤頂將放空管頂起150—200mm,并用管卡臨時固定放空管。待清理完畢放空管之后,重新固定好連接法蘭的螺栓,同時將臨時固定放空管的管卡拆掉,才能重新使用。可見每次清理放空管的難度大且不易清理干凈,勞動強度大。清理放空管有如下難點:(I)、由于需將放空管頂起高度在(150— 200) mm,只能選用一些較短的工具進行清理,清理范圍受到限制,只能對放空管局部長度空間進行清理,清理的效率低且清理效果差。( 2 )、每次清理放空管至少需要兩人一起配合才能完成,人工投入大。(3)、清理過程中都要使用千斤頂頂起放空管,對清理操作人員的人身安全構成一定威脅。
    技術實現思路
    本技術的目的在于克服上述現有技術的不足,提出一種疏通放空管內積渣的裝置,它能對現有廢氣及殘液淋洗產生大量廢渣,造成放空管頻繁堵塞情況進行有效清理。本技術的目的是通過下列結構完成的:疏通放空管內積渣的裝置,安全液封罐6的頂部裝有一根放空管7,安全液封罐6上側部接有淋洗液進口 8,安全液封罐6下側部各裝有排污閥門9和出液閥門11,放空管7與安全液封罐6的頂部之間通過法蘭盤13連接,其特征在于安全液封罐6與放空管7之間的連接管道上串聯連接一個蝶閥15,放空管7側部安裝有一根工業水管及閥門16、取樣閥14和/或一根氮氣管及閥門12。本技術裝置能減少清理放空管的工作量,也大大降低清理放空管的難度,節約大量的時間及人力,清除廢渣的效果更好,操作人員的安全也得到有效保證,從而提高廢氣及殘液處理站處理多晶硅生產過程中產生的廢氣及殘液處理能力。附圖說明以下結合附圖所示實施例,對結構作進一步說明,但本技術保護范圍不限于此實施例。圖1為現在生產多晶硅過程中,處理廢氣及殘液淋洗工藝流程圖。圖2為原有安全液封罐的結構示意圖。圖3改進后安全液封罐的本技術裝置結構示意圖。圖中標號:I一廢氣及殘液的進口,2—第一級淋洗塔,3—接收地槽,4一中間連通管,5—第二級淋洗塔,6—安全液封罐,7—放空管,8—淋洗液NaOH溶液進口,9一排污閥,10—液位計,11 一出液閥,12—氮氣管,13—法蘭盤,14 一取樣閥,15—蝶閥,16—工業水閥門。具體實施方式實施例:本技術在放空管7上安裝有氮氣管12及取樣閥14,氮氣管內使用0.3Mpa的氮氣。在安全液封罐6出口與放空管7連接法蘭盤部位增加了一個蝶閥15。在放空管7的底部增加了一根工業水管16。如放空管7發生堵塞的情況下,關閉安全液封罐出口與放空管連接處新增加的蝶閥15,使放空管7與安全液封罐及前端設備斷開,打開新增加的工業水閥門16,向放空管7內注入工業水,由于廢渣的密度比水的密度要小,廢渣會漂浮在水的表面上。當放空管底部閥門關閉,工業水在放空管內的液位會慢慢升高,工業水的液位達到放空管頂部時開始溢流,最終將放空管7內的廢渣從放空管頂部沖出來,達到清理放空管內廢渣的效果。在實施過程中發現,工業水上升到將要溢流時,可打開放空管7底部的氮氣管12閥門,0.3Mpa氮氣進入水中將迅速上升,在上升的過程中可帶動放空管內的廢渣迅速上升,一些密度、體積相對大一些的 廢渣也會從放空管7頂部被沖出來,從而更好的清理放空管。從放空管清理出來的廢渣隨工業用水流到接收地槽內,通過人工打撈將廢渣打撈出來,最后統一運到渣場處理。圖1中的箭頭為廢氣及殘液進入淋洗塔內的走向,廢氣處理塔為濕法吸收型凈化處理設備,其功能設計為噴淋分組分級式,淋洗液是采用氫氧化鈉(NaOH)為吸收中和液。其工作原理為:廢氣及殘液進入第一級淋洗塔2,在第一級淋洗塔2內與NaOH溶液發生中和反應,沒有反應完的廢氣通過兩級塔的中間連通管進入到第二級淋洗塔5,再在第二級淋洗塔5內與NaOH溶液發生中和反應,廢氣及殘液經過第二級淋洗塔5后剩余一些殘留氣體,其主要含78%的氮氣、21%的氫氣、1%的氯硅烷氣體,淋洗后的殘留氣由第二級淋洗塔5頂部排出至安全液封罐6,安全液封罐6內有循環的NaOH溶液,第二級塔淋洗塔5后的殘留氣體經過安全液封罐6與罐內的NaOH溶液再次發生中和反應,安全液封罐6內的NaOH溶液液位為300mm,從第二級淋洗塔5接入到安全液封罐6的管道被NaOH溶液液封,剩余的殘留氣體再與安全液封罐6內的NaOH溶液發生中和反應,凈化后的廢氣達到國家排放標準,通過放空管7高點(放空管高度為16米,達到國家排放廢氣高度大于15米的要求)排入大氣。接收地槽3內產生的廢渣浮在淋洗液表面,通過人工撈出后運至渣場集中堆存處理。權利要求1.一種疏通放空管內積渣的裝置,安全液封罐(6)的頂部裝有一根放空管(7),安全液封罐(6 )上側部接有淋洗液進口( 8 ),安全液封罐(6 )下側部各裝有排污閥門(9 )和出液閥門(11 ),放空管(7)與安全液封罐(6)的頂部之間通過法蘭盤(13)連接,其特征在于安全液封罐(6)與放空管(7)之間的連接管道上串聯連接一個蝶閥(15),放空管(7)側部安裝有一根工業水管及閥門(16)、取樣閥(14)和一根氮氣管及閥門(12),或者放空管(7)側部安裝有一根工業水管及閥門(16 )、一根氮氣管及閥門(12 )。專利摘要本技術涉及一種疏通放空管內積渣的裝置,特別是處理多晶硅生產過程中產生廢氣及殘液的裝置,適用于多種氯硅烷或氯化氫混合的有害氣體,屬廢氣處理領域。疏通放空管內積渣的裝置,安全液封罐的頂部裝有一根放空管,安全液封罐上側部接有淋洗液進口,安全液封罐下側部各裝有排污閥門和出液閥門,放空管與安全液封罐的頂部之間通過法蘭盤連接,其特征在于安全液封罐與放空管之間的連接管道上串聯連接一個蝶閥,放空側部安裝有一根工業水管及閥門、取樣閥和/或一根氮氣管及閥門。本技術裝置能減少清理放空管的工作量,也大大降低清理放空管的難度,節約大量的時間及人力,清除廢渣的效果更好,操作人員的安全也得到有效保證,從而提高廢氣及殘液裝置處理多晶硅生產過程中產生的廢氣及殘液處理能力。文檔編號B01D53/78GK203090730SQ20122062480公開日2013年7月31日 申請日期2012年11月23日 優先權日2012年11月23日專利技術者沈宗喜, 丁丙恒, 章華, 鄧亮, 彭德祥, 和金龍, 韓金國, 余中煒, 彭飛, 楊潔 申請人:昆明冶研新材料股份有限公司本文檔來自技高網...

    【技術保護點】
    一種疏通放空管內積渣的裝置,安全液封罐(6)的頂部裝有一根放空管(7),安全液封罐(6)上側部接有淋洗液進口(8),安全液封罐(6)下側部各裝有排污閥門(9)和出液閥門(11),放空管(7)與安全液封罐(6)的頂部之間通過法蘭盤(13)連接,其特征在于安全液封罐(6)與放空管(7)之間的連接管道上串聯連接一個蝶閥(15),放空管(7)側部安裝有一根工業水管及閥門(16)、取樣閥(14)和一根氮氣管及閥門(12),或者放空管(7)側部安裝有一根工業水管及閥門(16)、一根氮氣管及閥門(12)。

    【技術特征摘要】

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:沈宗喜丁丙恒章華鄧亮彭德祥和金龍韓金國余中煒彭飛楊潔
    申請(專利權)人:昆明冶研新材料股份有限公司
    類型:實用新型
    國別省市:

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