【技術實現步驟摘要】
【技術保護點】
一種空氣隙型偏光棱鏡膠合誤差的測量裝置，包括4f光學信息處理系統，該4f光學信息處理系統包括照明點光源、準直透鏡、系統的輸入平面、第一傅立葉變換透鏡、頻譜面、第二傅立葉變換透鏡與系統的輸出平面，其中輸入平面與相鄰傅立葉變換透鏡之間的距離、頻譜面與相鄰傅立葉變換透鏡之間的距離，以及輸出平面與相鄰傅立葉變換透鏡之間的距離均為f；其特征在于：在上述系統的輸入平面上設置有待測棱鏡，在頻譜面上設置有一用于消弱零級頻譜和濾除二級及以上頻譜的低通振幅型濾波器，在系統的輸出平面上設置有CCD探測器，CCD探測器與一計算機相連；上述計算機采集輸出平面上的干涉光場的光強分布圖樣，根據光強分布圖樣計算得出條紋間距，并利用條紋間距與膠合誤差之間的關系計算得出膠合誤差。
【技術特征摘要】
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