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    激光加工裝置和激光加工方法制造方法及圖紙

    技術編號:9291282 閱讀:99 留言:0更新日期:2013-10-30 21:18
    本發明專利技術提供激光加工裝置和激光加工方法,其無論被加工物的激光照射面狀態如何都能實施均勻的激光加工。對被加工物實施激光加工的激光加工裝置的特征在于具有:卡盤臺,其保持被加工物;激光束照射構件,其包括激光振蕩器和加工頭,該加工頭具有聚光透鏡,該聚光透鏡對從該激光振蕩器振蕩出的激光束進行會聚;反射光量檢測構件,其檢測從該激光束照射構件照射到保持于該卡盤臺的被加工物的激光束的反射光量;以及輸出調整構件,其基于由該反射光量檢測構件檢測出的反射光量,調整從該激光振蕩器振蕩出的激光束的輸出。

    【技術實現步驟摘要】

    【技術保護點】
    一種激光加工裝置,其對被加工物實施激光加工,該激光加工裝置的特征在于具有:卡盤臺,其保持被加工物;激光束照射構件,其包括激光振蕩器和加工頭,該加工頭具有聚光透鏡,該聚光透鏡對從該激光振蕩器振蕩出的激光束進行會聚;反射光量檢測構件,其檢測從該激光束照射構件照射到保持于該卡盤臺的被加工物的激光束的反射光量;以及輸出調整構件,其基于由該反射光量檢測構件檢測出的反射光量,調整從該激光振蕩器振蕩出的激光束的輸出。

    【技術特征摘要】
    ...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:生越信守
    申請(專利權)人:株式會社迪思科
    類型:發明
    國別省市:

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