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本實用新型涉及一種壓力傳感器介質隔離的封裝結構,包括:塑料基板,具有相對設置的底板和開口端,底板上開設有通孔;隔離膜片,密封塑料基板的開口端;塑料管殼,設置在塑料基板的底板上;敏感元件,設置在塑料管殼內,敏感元件具有背腔,背腔朝向塑料基板的...該專利屬于蘇州敏芯微電子技術有限公司所有,僅供學習研究參考,未經過蘇州敏芯微電子技術有限公司授權不得商用。
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本實用新型涉及一種壓力傳感器介質隔離的封裝結構,包括:塑料基板,具有相對設置的底板和開口端,底板上開設有通孔;隔離膜片,密封塑料基板的開口端;塑料管殼,設置在塑料基板的底板上;敏感元件,設置在塑料管殼內,敏感元件具有背腔,背腔朝向塑料基板的...