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本發明提供拋光基板的方法、裝置及系統。本發明包括上部平臺；耦接至上部平臺的扭矩/應變測量儀；以及耦接至扭矩/應變測量儀并適于經由扭矩/應變測量儀驅動上部平臺旋轉的下部平臺。在其他實施例中，本發明包括上部托架、耦接至上部托架的側向力測量儀及耦...
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