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本實用新型提供一種減壓干燥裝置，用于光刻工藝中玻璃基板的減壓干燥，包括：干燥室；用于承載玻璃基板的承載臺，設于所述干燥室內；所述減壓干燥裝置還包括：用于對玻璃基板進行加熱的加熱結構，設于所述干燥室內。本實用新型還提供一種陣列光刻工藝設備。本...該專利屬于北京京東方顯示技術有限公司;京東方科技集團股份有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過北京京東方顯示技術有限公司;京東方科技集團股份有限公司授權不得商用。