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提供用包含有機顯像劑溶劑顯像正色調化學增強抗蝕劑的方法，所述有機顯像劑溶劑具有單獨或者與其它有機溶劑如異丙醇和/或水組合的至少一種多元醇，例如乙二醇和/或甘油。本文所述有機溶劑顯像正色調抗蝕劑用于光刻圖案形成方法；用于生產半導體器件，例如集...該專利屬于國際商業機器公司;JSR株式會社所有，僅供學習研究參考，未經過國際商業機器公司;JSR株式會社授權不得商用。
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提供用包含有機顯像劑溶劑顯像正色調化學增強抗蝕劑的方法，所述有機顯像劑溶劑具有單獨或者與其它有機溶劑如異丙醇和/或水組合的至少一種多元醇，例如乙二醇和/或甘油。本文所述有機溶劑顯像正色調抗蝕劑用于光刻圖案形成方法；用于生產半導體器件，例如集...