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本發明公開了一種高速數字掃描直寫光刻裝置，包括光源，光學照明系統，可編程圖形發生器，投影光學系統，高速精密移動平臺等五部分。曝光光束從光源發出，進入光學照明系統，準直成平行均勻的面光源投影至可編程圖形發生器，而此時可編程圖形發生器上的圖形信...
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