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    下載基于聲表面波的具有溫度補償的感測加速度傳感器的技術資料

    文檔序號:10367439

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    本發明涉及一種基于聲表面波的具有溫度補償的感測加速度傳感器,包括密封連接的殼體和殼蓋,還包括壓電基片、壓電薄膜、基座和三個聲表面波諧振器,壓電薄膜設在壓電基片的上表面,基座固定在殼體內的底面上,壓電基片的一端為固定端,另一端為懸伸端,壓電薄...
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