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一種溫度控制裝置。本發明的溫度控制裝置(3)具有：循環冷卻加熱部(5)，其將循環流體冷卻、加熱，并且使循環流體在與腔室之間循環；控制部(6)，其調節循環流體的溫度而將腔室的溫度控制到目標溫度；框體(7)，其收納上述部件，在框體(7)內，將循...
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