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    下載平面傾斜檢測裝置及方法的技術資料

    文檔序號:12144620

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    本發明提供了一種平面傾斜檢測裝置,包括正交安裝于被測平面上的第一和第二變面積差動式電容傳感器、分別將所述第一和第二變面積差動式電容傳感器的電容量轉換為第一和第二直流電信號輸出的第一和第二測量電路、以及根據所述第一和第二直流電信號計算被測平面...
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