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一種步進(jìn)電機(jī)氣動微閥，包括流道支架，氣體流道，閥芯致動器和步進(jìn)電機(jī)，氣體流道固定在流道支架上，流道支架由兩個U型支架、連接兩U型支架的橫梁和第一平板構(gòu)成，氣體流道由底座及底座上設(shè)置的平薄膜及帶有流道的薄膜構(gòu)成，氣體流道相對兩側(cè)均設(shè)有鋼管，鋼...該專利屬于揚(yáng)州邁上塑業(yè)有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過揚(yáng)州邁上塑業(yè)有限公司授權(quán)不得商用。