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本發明提供一種精密定位平臺動態平面度的測量方法，在所測精密定位平臺上安裝真空吸盤，在真空吸盤上吸附帶有規則排列的定位標記的測試板，借助圖像采集系統和自動聚焦系統，測量出不同位置下精密定位平臺X軸和Y軸的動態平面度，并繪制成曲線。本發明適用于...該專利屬于合肥芯碁微電子裝備有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過合肥芯碁微電子裝備有限公司授權不得商用。
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本發明提供一種精密定位平臺動態平面度的測量方法，在所測精密定位平臺上安裝真空吸盤，在真空吸盤上吸附帶有規則排列的定位標記的測試板，借助圖像采集系統和自動聚焦系統，測量出不同位置下精密定位平臺X軸和Y軸的動態平面度，并繪制成曲線。本發明適用于...