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    下載抗等離子體腐蝕的稀土氧化物基薄膜涂層的技術資料
    
                    
    
                      
    文檔序號：12708266
    
                    
    
                  
    

                  
                  
    
                      
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                      制品包含主體和至少一個保護層，所述保護層位于所述主體的至少一個表面上。所述至少一個保護層是具有小于約20微米的厚度、并包含陶瓷的薄膜，所述陶瓷選自由以下各項組成的組：Y3Al5O12、Y4Al2O9、Er2O3、Gd2O3、Er3Al5O1...
    該專利屬于應用材料公司所有，僅供學習研究參考，未經過應用材料公司授權不得商用。
                      
                  
                  
                  
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