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微波增強(qiáng)等離子體化學(xué)氣相沉積中功率?氣壓?溫度耦合方法，它涉及微波增強(qiáng)等離子體化學(xué)氣相沉積技術(shù)的改進(jìn)方法。本發(fā)明要解決現(xiàn)有的MPCVD技術(shù)制備金剛石薄膜過(guò)程中，由于基體溫度、功率密度和沉積氣壓對(duì)于制備出的金剛石薄膜質(zhì)量影響大的問(wèn)題。本發(fā)明方...該專利屬于哈爾濱工業(yè)大學(xué)所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)哈爾濱工業(yè)大學(xué)授權(quán)不得商用。