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下載相移掩模坯料及其制造方法、以及相移掩模的技術資料

文檔序號：13302092

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本發明的課題在于提供一種相移掩模坯料及其制造方法、以及相移掩模，其中，該相移掩模坯料可提高由以過渡金屬、硅和氮為主要成分的材料構成的光學半透光膜(相移膜)對于波長為200nm以下的曝光光的耐光性，可以改善掩模壽命。本發明的相移掩模坯料是為了...
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