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本發(fā)明提供的一種電子束準(zhǔn)直裝置及電子束準(zhǔn)直系統(tǒng)，其中，一種電子束準(zhǔn)直裝置，包括準(zhǔn)直模塊，該準(zhǔn)直模塊包括疊在一起的三層外爾半金屬薄膜，三層外爾半金屬薄膜中位于兩側(cè)的兩層外爾半金屬薄膜為相同的薄膜，且位于中間的外爾半金屬薄膜與位于兩側(cè)的外爾半金...該專利屬于蘇州大學(xué)所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過蘇州大學(xué)授權(quán)不得商用。