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本發明涉及一種高儲能密度固態薄膜集成電路電容器及其制備方法，該電容器包括襯底基片、下部電極和上部電極，所述的下部電極涂覆在襯底基片上，該電容器還包括活性鈦酸鍶薄膜，所述的活性鈦酸鍶薄膜位于上部電極和下部電極之間，所述的上部電極為Ti薄膜，活...
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