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本發明提供一種能夠提高基板液處理裝置的生產率的基板液處理裝置和基板液處理方法。基板液處理裝置(1)用于利用處理液來對基板(2)進行液處理，其包括：處理液儲存部(3)，其用于儲存所述處理液；處理液加熱部(加熱器(18))，其用于對所述處理液進...
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