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本發明公開了一種懸空p?n結量子阱器件和光波導單片集成系統及其制備方法，該集成系統包括硅襯底層、設置在所述硅襯底層上的外延緩沖層、設置在所述外延緩沖層上的多個p?n結量子阱器件，所述p?n結量子阱器件之間設置有隔離槽，兩相鄰的p?n量子阱器...
該專利屬于南京郵電大學所有，僅供學習研究參考，未經過南京郵電大學授權不得商用。

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