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本發明針對現有MEMS三維電感線圈存在的不足，提供一種三維電感線圈，包括柔性襯底、薄膜導線、磁性電極、軟磁薄膜電極、軟磁薄膜引線電極、絕緣層、磁芯薄膜、引線，其中，軟磁薄膜電極和軟磁薄膜引線電極位于柔性襯底的一邊，磁性電極位于柔性襯底的另一...
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