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干涉物鏡，包括：物鏡系統(tǒng)；分束器，其被置于測量對象的測量表面和物鏡系統(tǒng)的末梢端之間，將從物鏡系統(tǒng)發(fā)出的光分光到參考光路和測量光路，并輸出將通過參考光路的反射光和通過測量對象的反射光組合的組合波；參考鏡，其被置于參考光路中，并反射由分束器分光...該專利屬于株式會社三豐所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過株式會社三豐授權(quán)不得商用。