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四極質(zhì)量分析器的對(duì)桿平行度測(cè)量系統(tǒng)具有底座，底座上設(shè)置傳感器機(jī)構(gòu)，裝夾四極質(zhì)量分析器的夾具，驅(qū)動(dòng)夾具進(jìn)給的直線驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和數(shù)據(jù)處理模塊；傳感器機(jī)構(gòu)包括測(cè)量桿和電容傳感器組件，電容傳感器組件包括一對(duì)對(duì)稱的電容傳感器測(cè)頭；以采樣時(shí)間順序從前到后對(duì)...該專利屬于浙江大學(xué)所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過浙江大學(xué)授權(quán)不得商用。