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本發明公開了一種鈮摻雜二氧化鈦透明導電膜的制備方法及鈮摻雜二氧化鈦透明導電膜，該制備方法包括1)以氬氣為等離子體氣源，氧氣為反應氣體，采用遠源等離子體濺射技術在襯底上濺射沉積薄膜得半成品；濺射靶材中Nb的原子數為Nb、Ti原子總數的2％～8...
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