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本實用新型公開了一種非制冷寬波段紅外探測器,其單元器件包括硅基底、支撐層、金屬電極、寬波段紅外吸收層、熱敏感層及懸空孔;熱敏感層置于寬波段紅外吸收層上方或下方的中間;金屬電極置于熱敏感層的兩旁、寬波段紅外吸收層兩端的上方;支撐層置于硅基底上...該專利屬于中國科學院重慶綠色智能技術研究院所有,僅供學習研究參考,未經過中國科學院重慶綠色智能技術研究院授權不得商用。
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本實用新型公開了一種非制冷寬波段紅外探測器,其單元器件包括硅基底、支撐層、金屬電極、寬波段紅外吸收層、熱敏感層及懸空孔;熱敏感層置于寬波段紅外吸收層上方或下方的中間;金屬電極置于熱敏感層的兩旁、寬波段紅外吸收層兩端的上方;支撐層置于硅基底上...