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    下載一種玻璃鈍化高壓雙向觸發(fā)二極管的技術(shù)資料

    文檔序號(hào):14331605

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    本實(shí)用新型提供了一種玻璃鈍化高壓雙向觸發(fā)二極管,其制備工藝如下:步驟1,采用p型硅片進(jìn)行化學(xué)拋光;步驟2,雙面涂磷進(jìn)行磷擴(kuò)散;步驟3,制作氧化層;步驟4,制作短路電極層的硼擴(kuò)散窗,硼擴(kuò)散得到短路控制電極,形成雙面PNPNP結(jié)構(gòu);步驟5,制作...
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