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本發(fā)明涉及一種光柵式垂向位置測量系統(tǒng)，依次包括照明單元、投影光柵組、投影單元、探測單元、探測光柵組、圖像采集單元和信號處理單元，所述投影光柵組和探測光柵組內均包括2n(n≥1)個不同周期的光柵，且探測光柵組與投影光柵組為中心對稱圖形，所述照...該專利屬于上海微電子裝備有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過上海微電子裝備有限公司授權不得商用。
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