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本發明提供了一種制備透射電子顯微鏡樣品的方法，包括：第一步驟：針對樣品上的需要分析的特定目標形成用于標定特定目標的標記；第二步驟：向芯片樣品射入聚焦離子束，根據標記找到特定目標所處的區域，使用與樣品垂直的離子束將芯片樣品切割至靠近特定目標預...
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