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本發(fā)明提供了一種MIM電容器結(jié)構(gòu)的制造方法，該方法制造的MIM電容器結(jié)構(gòu)通過(guò)在襯底的背面形成凹槽，然后在凹槽中形成電容器可以減小整體結(jié)構(gòu)的厚度，并且利用邊緣斷開(kāi)的導(dǎo)電導(dǎo)熱層進(jìn)行電連接和散熱，保證封裝結(jié)構(gòu)的散熱效率。...該專(zhuān)利屬于南通沃特光電科技有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)南通沃特光電科技有限公司授權(quán)不得商用。