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本發明提供一種等離子體處理裝置，包括多個電感耦合型天線(41)，多個電感耦合型天線(41)具有：至少一個基準天線(41a)，與基材(9)的主面(S)的中央部相向地配置；以及多個輔助天線(41b)，與基材(9)的主面(S)的端部相向地配置。高...
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