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本發明提供了一種空氣靜壓主軸的回轉誤差測量裝置,所述裝置的左右差分螺紋機構、前后差分螺紋機構、上下差分螺紋機構用于確保標準球赤道線與非接觸式位移傳感器的距離在70μm~80μm;標準球安裝座用于實現標準球與空氣靜壓主軸回轉軸線亞微米級的偏心...該專利屬于中國工程物理研究院機械制造工藝研究所所有,僅供學習研究參考,未經過中國工程物理研究院機械制造工藝研究所授權不得商用。
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本發明提供了一種空氣靜壓主軸的回轉誤差測量裝置,所述裝置的左右差分螺紋機構、前后差分螺紋機構、上下差分螺紋機構用于確保標準球赤道線與非接觸式位移傳感器的距離在70μm~80μm;標準球安裝座用于實現標準球與空氣靜壓主軸回轉軸線亞微米級的偏心...