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本發明提供一種波長同時照明的非相干疊層衍射成像方法，成像過程包括以下過程：采用至少一種以上的不同激光器照明；出射的激光經過雙全反射鏡將光線調整至水平射出后通過雙寬帶分光棱鏡合束；再經過空間濾波器擴束，再經過復消色差透鏡準直后打到探針上；探針...該專利屬于中國科學院西安光學精密機械研究所所有，僅供學習研究參考，未經過中國科學院西安光學精密機械研究所授權不得商用。
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本發明提供一種波長同時照明的非相干疊層衍射成像方法，成像過程包括以下過程：采用至少一種以上的不同激光器照明；出射的激光經過雙全反射鏡將光線調整至水平射出后通過雙寬帶分光棱鏡合束；再經過空間濾波器擴束，再經過復消色差透鏡準直后打到探針上；探針...