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    下載生長在玻璃襯底上的GaN薄膜及其制備方法的技術資料

    文檔序號:15287130

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    本發明公開了生長在玻璃襯底上的GaN薄膜,包括生長在玻璃襯底上的鋁金屬層,生長在鋁金屬層上的銀金屬層,生長在銀金屬層上的AlN緩沖層,生長在AlN緩沖層上的GaN緩沖層,生長在GaN緩沖層上的GaN薄膜。本發明還公開了上述生長在玻璃襯底上的...
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